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龙图腾网获悉上海集成电路研发中心有限公司申请的专利一种研磨液的混液供应装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117067110B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311262337.5，技术领域涉及：B24B57/02；该发明授权一种研磨液的混液供应装置是由戴文俊;黄仁东设计研发完成，并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种研磨液的混液供应装置在说明书摘要公布了：本发明涉及化学机械研磨领域，特别是涉及一种研磨液的混液供应装置，包括混合组件、供应桶、供压组件；所述混合组件包括旋转节流阀；所述旋转节流阀包括板面紧密贴合的下方固定板及上方旋转板；在前端第一腔室的对应区域内设置有研磨原液预留孔，在前端第二腔室的对应区域内设置有水流预留孔；所述上方旋转板上设置有混合通过孔；所述混合通过孔、所述水流预留孔及所述研磨原液预留孔均排列在距所述上方旋转板的旋转轴预设半径的圆上；所述上方旋转板的旋转位置不同，与所述水流预留孔或所述研磨原液预留孔重合的混合通过孔的数量也不同。本发明保证了调配好的研磨液的新鲜程度，使材料测试实验的结果更可靠，提升实验效率。

本发明授权一种研磨液的混液供应装置在权利要求书中公布了：1.一种研磨液的混液供应装置，其特征在于，包括混合组件、供应桶、供压组件； 所述供应桶包括桶身、顶盖及供应桶隔离板；所述顶盖与所述供应桶隔离板配合，将所述桶身分隔成研磨原液存放室及水存放室； 所述供压组件包括气源与输气管；所述气源通过所述输气管向所述供应桶内提供预设压强的推进气体； 所述混合组件包括第一插底管、前端第一腔室、第二插底管、前端第二腔室、后端混合腔室及旋转节流阀； 所述第一插底管的输入端位于所述研磨原液存放室的底部，输出端连接所述前端第一腔室；所述第二插底管的输入端位于所述水存放室的底部，输出端连接所述前端第二腔室； 所述旋转节流阀包括板面紧密贴合的下方固定板及上方旋转板； 所述上方旋转板为所述后端混合腔室的底板； 所述下方固定板为所述前端第一腔室及所述前端第二腔室的顶盖，且在所述前端第一腔室的对应区域内设置有研磨原液预留孔，在所述前端第二腔室的对应区域内设置有水流预留孔；所述上方旋转板上设置有混合通过孔； 所述混合通过孔、所述水流预留孔及所述研磨原液预留孔均排列在距所述上方旋转板的旋转轴预设半径的圆上； 所述上方旋转板的旋转位置不同，与所述水流预留孔或所述研磨原液预留孔重合的混合通过孔的数量也不同，使流入所述后端混合腔室的研磨原液与水的比例不同； 所述混合组件为管状件； 所述顶盖为所述混合组件的底面，且所述顶盖上包括与对应的插底管连接的插底连接孔； 所述混合组件包括混合组件隔离板； 所述管状件的侧壁、所述顶盖及所述下方固定板围成前端腔室，所述混合组件隔离板将所述前端腔室分隔为所述前端第一腔室及所述前端第二腔室。

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