长鑫科技集团股份有限公司张延虎获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫科技集团股份有限公司申请的专利保护膜的贴合装置及保护膜的贴合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116968988B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310899560.4，技术领域涉及：B65B33/02；该发明授权保护膜的贴合装置及保护膜的贴合方法是由张延虎设计研发完成，并于2023-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本保护膜的贴合装置及保护膜的贴合方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种保护膜的贴合装置及保护膜的贴合方法，涉及半导体技术领域。保护膜的贴合装置用于将保护膜贴合在光罩的被保护面上，保护膜包括膜片和环绕于膜片的膜框，保护膜的贴合装置包括顶板、承载架、贴膜结构。顶板朝向光罩的一侧设有支撑件，支撑件被配置为在贴膜的过程中能够抵接光罩。承载架为中空结构，且被配置为以使光罩的被保护面背离顶板的方式支撑光罩。贴膜结构被配置为能够承载保护膜，使保护膜穿过承载架后朝向顶板移动，当支撑件与光罩接触时，使膜框的贴合面贴合在光罩的被保护面。其中，支撑件在保护膜上的正投影落在膜框上。如此，使得光罩的不同表面上受到的力能够部分抵消，从而降低在贴膜过程中光罩产生形变的风险。
本发明授权保护膜的贴合装置及保护膜的贴合方法在权利要求书中公布了：1.一种保护膜的贴合装置，用于将所述保护膜贴合在光罩的被保护面上，所述保护膜包括膜片和环绕于所述膜片的膜框，其特征在于，所述贴合装置包括： 顶板，所述顶板朝向所述光罩的一侧设有支撑件，所述支撑件被配置为在贴膜的过程中能够抵接所述光罩； 承载架，所述承载架为中空结构，且被配置为以使所述光罩的被保护面背离所述顶板的方式支撑所述光罩； 贴膜结构，所述贴膜结构被配置为能够承载所述保护膜，使所述保护膜穿过所述承载架后朝向所述顶板移动，当所述支撑件与所述光罩接触时，使所述膜框的贴合面贴合在所述光罩的被保护面； 其中，所述支撑件在所述保护膜上的正投影落在所述膜框上。
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