南亚科技股份有限公司林昱利获国家专利权
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龙图腾网获悉南亚科技股份有限公司申请的专利半导体设备的操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116926514B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210411086.1，技术领域涉及：C23C16/505；该发明授权半导体设备的操作方法是由林昱利;赖璿午设计研发完成，并于2022-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体设备的操作方法在说明书摘要公布了：一种半导体设备的操作方法包括在半导体设备的腔室中以射频功率与压力沉积半导体层在加热器上的晶圆；减小腔室中的射频功率与压力以执行第一等离子体净化程序；沉积氧化物层在半导体层上；下降加热器的位置；以及对腔室抽除气体。减小射频功率与压力使腔室中的等离子体工作区域缩小，借此降低半导体层表面出现缺陷的机率。
本发明授权半导体设备的操作方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的操作方法，其特征在于，包括: 在该半导体设备的腔室中以射频功率与压力沉积半导体层在加热器上的晶圆； 减小该腔室中的该射频功率与该压力以执行第一等离子体净化程序； 沉积氧化物层在该半导体层上，其中从执行该第一等离子体净化程序至沉积该氧化物层期间该腔室维持正压； 下降该加热器的位置；以及 对该腔室抽除气体。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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