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龙图腾网获悉航天材料及工艺研究所申请的专利一种多弧源阴极电弧离子镀装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116875944B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310697420.9，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权一种多弧源阴极电弧离子镀装置及方法是由王娜;孙彦波;张晓;阴中炜;陈道勇设计研发完成，并于2023-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多弧源阴极电弧离子镀装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多弧源阴极电弧离子镀装置，包括电磁屏蔽装置、金属离子阻断回收装置、分区隔离机构和机械手；电磁屏蔽装置包括第一金属板；金属离子阻断回收装置包括第二金属板；分区隔离机构包括隔板，隔板将真空腔室分隔为待工作区和工作区；机械手安装于真空腔室上方；导磁管下端外侧绕设通电线圈，导磁管上端伸入真空腔室的工作区并连接于靶材内部，导磁管上述两部分之间分别利用第一、二金属板隔离；炼靶时，待镀产品存放于待工作区，炼靶结束后，机械手将待镀产品转移至工作区中的靶材上方。本发明还公开了一种基于上述装置实现的多弧源阴极电弧离子镀方法。本发明提高了沉积效率和沉积稳定性，实现了多台产品同时沉积的技术效果。

本发明授权一种多弧源阴极电弧离子镀装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种多弧源阴极电弧离子镀装置，其特征在于，包括：电磁屏蔽装置、金属离子阻断回收装置、分区隔离机构和机械手； 电磁屏蔽装置包括若干个第一金属板；金属离子阻断回收装置包括若干个第二金属板； 分区隔离机构包括隔板，隔板将真空腔室分隔为待工作区和工作区；机械手安装于真空腔室上方； n个导磁管竖直设置，导磁管下端外侧绕设通电线圈，导磁管上端伸入真空腔室的工作区并连接于靶材内部，将同一根导磁管绕设通电线圈的部分和位于真空腔室内部的部分分别记为第一部分和第二部分，相邻两根导磁管的第一部分之间利用第一金属板隔离，相邻两根导磁管的第二部分之间利用第二金属板隔离；n≥3； 炼靶时，m件待镀产品存放于待工作区，炼靶结束后，机械手将m件待镀产品转移至工作区中的靶材上方，实现对m件待镀产品的离子镀；1≤m≤n； n个导磁管呈直线、长方形阵列或菱形阵列排布； 相邻两根导磁管之间的间隔为100～300mm； 导磁管内部设有冷却水管； 导磁管外部所设通电线圈的匝数为50～300匝，通电线圈的通电电流为0.5～20A，频率为10～40HZ，波形为正弦波或三角波或矩形波； 靶材为中空结构，包括圆柱段和圆锥段，圆柱段外部安装引弧器，利用引弧器在靶材表面引燃弧光，弧光在电磁场的作用下，在圆锥段做上下螺旋运动，圆锥段的斜度不小于6°； 导磁管上端外表面与靶材内表面螺纹连接； 炼靶的条件为：电弧电流20～200A，磁场电流0～50A； 炼靶时间y1根据靶材高度x1设定，具体为： y1＝0.015×x1； 离子镀起弧时的电弧电流20～200A，磁场电流0～50A，起弧时间y2根据待镀产品高度x2设定，具体为： y2＝0.3×x2； 其中，炼靶时间y1和起弧时间y2的单位为min，靶材高度x1和待镀产品高度x2的单位为mm。

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