浙江超晶晟锐光电有限公司张凡获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江超晶晟锐光电有限公司申请的专利一种氧化镁部分稳定氧化锆浆料及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116835638B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310726592.4,技术领域涉及:C01G25/02;该发明授权一种氧化镁部分稳定氧化锆浆料及其制备方法和应用是由张凡;何祖东;郭景新设计研发完成,并于2023-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化镁部分稳定氧化锆浆料及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开一种氧化镁部分稳定氧化锆浆料及其制备方法和应用,称取氧氯化锆晶体溶于去离子水中,加入六水氯化镁形成氯化物混合溶液;向混合溶液中滴加过量的氨水,使氢氧化锆、氢氧化镁沉淀后,离心并反复热水洗涤;干燥并高温煅烧,再加入分散剂和湿磨溶剂球磨;干燥后,筛选合格的粉体配制成水溶液,加入分散剂超声震荡;用氨水调pH,持续搅拌即获得所述浆料。本发明工艺简单,可操作性较强,样品流动性和分散性较好,可以有效地抑制GaSb衬底在研磨过程中因磨粒堆积产生的应力集中而引起的边、角碎裂和裂纹问题,大大提升了GaSb衬底研磨后的表面质量,T2SL红外探测器芯片GaSb衬底研磨后损伤率低。
本发明授权一种氧化镁部分稳定氧化锆浆料及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种氧化镁部分稳定氧化锆浆料在用于GaSb衬底的研磨去除的应用,其特征在于,所述氧化镁部分稳定氧化锆浆料制备方法包括如下步骤: 1称取氧氯化锆晶体溶于去离子水中,配制成饱和溶液,过滤去除难溶物和其它杂质后,按氧氯化锆质量分数的1%~10%加入六水氯化镁,搅拌均匀形成氯化物混合溶液; 2向步骤1所述的氯化物混合溶液中滴加过量氨水,磁力搅拌3~6h后,静置6~24h使氢氧化锆、氢氧化镁沉淀完全;随后,转速为5000~10000rpm离心5~15min,沉淀用热水反复洗涤后,再重复一遍离心操作; 360~120℃加热干燥3~12h,然后1500~1800℃煅烧得到氧化镁部分稳定氧化锆粉末;冷却完全后,将氧化镁部分稳定氧化锆粉末放入球磨机,加入0.01~0.15wt.%的聚丙烯酸分散剂和湿磨溶剂,湿磨8~24h; 4从球磨机取出球磨过的氧化镁部分稳定氧化锆粉末于80~150℃下干燥完全,筛选出尺寸1-5μm的粉末,加入去离子水,使粉末占混合溶液体积分数的8%~20%,搅拌均匀,再加入0.05~3.00wt.%的分散剂,超声震荡30~90min,所述粉末占混合溶液体积分数的12%; 5用氨水调节混合溶液pH至8~10,持续机械搅拌6~12h,即可获得所述氧化镁部分稳定氧化锆浆料; 还包括如下S1-S12中的一项或多项: S1.所述步骤1中选择质量百分含量为99.5~99.9%的氧氯化锆晶体; S2.所述步骤1中采用孔径尺寸为80~120μm的快速滤纸过滤去除难溶物和其它杂质; S3.所述步骤2中热水的温度为60~70℃; S4.所述步骤2中于孔径尺寸为1~3μm的慢速滤纸上用热水反复洗涤7~15次; S5.所述步骤3中湿磨溶剂为无水乙醇或高纯水; S6.所述步骤3中所述球磨机为超细球磨机; S7.所述步骤3中在电阻炉中进行煅烧处理; S8.所述湿磨溶剂的添加量为粉体质量的50%; S9.所述步骤4中的分散剂选自AD8098或乙二醇; S10.所述步骤4中采用高精度电铸筛网进行粉末的筛选; S11.所述步骤1-5在千级以上的洁净环境中进行; S12.所述步骤4中所述粉末占混合溶液体积分数的8%~12%。
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