吉林大学;吉林大学深圳研究院邹广田获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林大学;吉林大学深圳研究院申请的专利一种微波等离子体金刚石膜沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116752127B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310970548.8，技术领域涉及：C23C16/50；该发明授权一种微波等离子体金刚石膜沉积装置是由邹广田;贾学林;刘学;吕宪义;李柳暗;王启亮设计研发完成，并于2023-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微波等离子体金刚石膜沉积装置在说明书摘要公布了：本发明的一种微波等离子体金刚石膜沉积装置，属于金刚石薄膜制备技术领域。结构包括进气孔1、腔体2、观察窗口3、出气孔4、微波同轴传输端口5、倒圆台底柱6、环形石英玻璃7、铜台8、样品沉积台9、等离子体半球10和测温窗口11。该装置结构简单，易加工，可以采用直接水冷，避免设备在高功率条件下工作时腔体壁过热的情况。
本发明授权一种微波等离子体金刚石膜沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种微波等离子体金刚石膜沉积装置，其结构包括进气孔1、腔体2、观察窗口3、出气孔4、微波同轴传输端口5、倒圆台底柱6、环形石英玻璃7、铜台8、样品沉积台9、等离子体半球10和测温窗口11；所述腔体2的上半部分壁面是椭圆壁面，下半部分壁面是圆柱壁面，所述椭圆壁面是由14椭圆特征曲线绕位于椭圆外部且与椭圆长轴平行的轴旋转一周得到的曲面，所述曲面向腔体内凹，所述14椭圆特征曲线为，其中a为40-50mm，b为40-50mm，；进气孔1位于所述腔体2顶部中心位置，观察窗口3和出气孔4位于腔体2的圆柱侧壁位置，微波同轴传输端口5位于腔体2底部位置，倒圆台底柱6、环形石英玻璃7、铜台8、样品沉积台9和等离子体半球10位于腔体2内部，倒圆台底柱6和环形石英玻璃7等高且底部均固定于腔体2内部的底部，铜台8位于倒圆台底柱6和环形石英玻璃7的顶部，样品沉积台9位于铜台8的顶部，等离子体半球10位于样品沉积台9顶部且球面朝上，测温窗口11位于腔体2的椭圆壁面上。
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