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龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司申请的专利微动台系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116661260B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310848963.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权微动台系统是由唐艳文;袁嘉欣;梁冰设计研发完成，并于2023-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本微动台系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种微动台系统，包括：移动模块，移动模块包括底座和移动驱动部，移动驱动部安装在底座上；旋转模块，旋转模块包括旋转驱动部、旋转座和安装座，旋转座可转动地设置在安装座上，移动驱动部与安装座驱动连接，以带动安装座移动；其中，旋转驱动部包括超声电机和陶瓷件，超声电机安装在安装座上，陶瓷件安装在旋转座上，陶瓷件沿旋转座的周向延伸，超声电机与陶瓷件的至少部分接触，以通过超声电机和陶瓷件之间的逆压电效应驱动旋转座转动。通过本发明提供的技术方案，能够解决现有技术中的微动台的定位精度较差的技术问题。

本发明授权微动台系统在权利要求书中公布了：1.一种微动台系统，其特征在于，包括： 移动模块10，所述移动模块10包括底座11和移动驱动部12，所述 移动驱动部12安装在所述底座11上； 旋转模块20，所述旋转模块20包括旋转驱动部21、旋转座22和安装座24，所述旋转座22可转动地设置在所述安装座24上，所述移动驱动部12与所述安装座24驱动连接，以带动所述安装座24移动；所述旋转驱动部21包括超声电机211和陶瓷件212，所述超声电机211安装在所述安装座24上，所述陶瓷件212安装在所述旋转座22上，所述陶瓷件212沿所述旋转座22的周向延伸，所述超声电机211与所述陶瓷件212的至少部分接触，以通过所述超声电机211和所述陶瓷件212之间的逆压电效应驱动所述旋转座22转动；所述超声电机211为至少两个； 角度检测结构30，所述角度检测结构30的检测部设置在所述安装座24上，所述角度检测结构30的检测部与所述超声电机211沿旋转座22周向间隔设置，所述角度检测结构30的检测部朝向所述旋转座22设置，以通过所述角度检测结构30对所述旋转座22的旋转角度进行检测。

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