上海精测半导体技术有限公司陈雅馨获国家专利权
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龙图腾网获悉上海精测半导体技术有限公司申请的专利厚度测量装置及厚度测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116538927B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310218114.2，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权厚度测量装置及厚度测量方法是由陈雅馨;董诗浩;李仲禹设计研发完成，并于2023-03-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本厚度测量装置及厚度测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种厚度测量装置及厚度测量方法，厚度测量装置包括：光源，形成入射至样品的第一表面的入射光束，所述入射光束在所述第一表面反射形成反射光束，所述入射光束透射所述样品并在所述样品的第二表面散射形成散射光束，其中所述第一表面和所述第二表面相背；合束模块，将所述反射光束以及所述散射光束合束为相干光束；反射光路，将所述反射光束导入所述合束模块；散射光路，将所述散射光束导入所述合束模块；探测模块，用以获取所述相干光束，以得到所述样品的厚度。本申请实现了对一个表面为光面、另一个相对表面为粗糙面的样品厚度的高精度测量。
本发明授权厚度测量装置及厚度测量方法在权利要求书中公布了：1.一种厚度测量装置，其特征在于，包括： 光源，形成入射至样品的第一表面的入射光束，所述入射光束在所述第一表面反射形成反射光束，所述入射光束透射所述样品并在所述样品的第二表面散射形成散射光束，其中所述第一表面和所述第二表面相背； 合束模块，将所述反射光束以及所述散射光束合束为相干光束； 反射光路，将所述反射光束导入所述合束模块； 散射光路，将所述散射光束导入所述合束模块； 探测模块，用以获取所述相干光束，以得到所述样品的厚度。
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