买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉歌尔微电子股份有限公司申请的专利MEMS惯性传感器、检测方法以及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116106579B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310028372.4，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权MEMS惯性传感器、检测方法以及电子设备是由周志健;高阳;邓仕阳;陈磊设计研发完成，并于2023-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS惯性传感器、检测方法以及电子设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种MEMS惯性传感器、检测方法以及电子设备；其中，MEMS惯性传感器包括基底、第一电极、第二电极、质量块以及弹性梁；基底的一侧设有绝缘层；第一电极和第二电极间隔地设于绝缘层上；质量块悬空设于基底的上方，质量块包括第一部分、第二部分及第三部分；弹性梁用于连接基底与质量块，弹性梁连接在基底的锚点上，第一部分、第三部分与第二部分位于弹性梁的两侧；第二部分与第二电极形成第一电容器，第三部分与第一电极形成第二电容器；第二电容器能形成塌陷工作模式，在塌陷工作模式下，第一电容器用于形成检测端，MEMS惯性传感器在塌陷工作模式下能够根据获取的电容变化量进行检测感知。

本发明授权MEMS惯性传感器、检测方法以及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种MEMS惯性传感器，其特征在于，包括： 基底5，所述基底5的一侧设有绝缘层4； 第一电极6和第二电极7，所述第一电极6和所述第二电极7间隔地设于所述绝缘层4上； 质量块2，所述质量块2悬空设于所述基底5的上方，所述质量块2包括第一部分2a、第二部分2b及第三部分2c； 弹性梁8，所述弹性梁8用于连接所述基底5与所述质量块2，所述弹性梁8连接在所述基底5的锚点9上，所述第一部分2a、所述第三部分2c与所述第二部分2b位于所述弹性梁8的两侧； 所述第二部分2b与所述第二电极7形成第一电容器，所述第三部分2c与所述第一电极6形成第二电容器； 所述第三部分2c连接在所述第一部分2a与所述第二部分2b之间，且所述第三部分2c与所述第一部分2a位于所述弹性梁8的同一侧；在Z轴方向上，所述第三部分2c的高度大于所述第一部分2a的高度，以使所述第三部分2c与所述第一部分2a在所述弹性梁8的一侧形成台阶结构； 所述第二电容器能形成塌陷工作模式，在所述塌陷工作模式下，所述第一电容器用于形成检测端，所述MEMS惯性传感器在所述塌陷工作模式下能够根据获取的电容变化量进行检测感知； 所述第一电容器、所述第二电容器还能够用于组成差分电容检测器；其中，所述第一电极6及所述第二电极7均为检测电极，用于作为差分电容检测输出信号端口 所述MEMS惯性传感器在所述塌陷工作模式下，通过为所述第一电极6施加第一直流电压，所述第一电极6与所述质量块2之间形成静电力，所述第一电极6形成吸合电极，所述质量块2作为单端电容输出信号端口； 当所述第一直流电压大于吸合电压Upull-in时，所述第一部分2a与所述绝缘层4形成接触状态，所述质量块2与所述第一电极6、所述第二电极7及所述基底5之间形成电绝缘状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人歌尔微电子股份有限公司，其通讯地址为：266101 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。