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龙图腾网获悉湖南顶立科技有限公司申请的专利一种气相沉积装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115961264B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211634611.2，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种气相沉积装置是由戴煜;王林静;张池澜;段巨祥;王艳艳;肖乐设计研发完成，并于2022-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气相沉积装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种气相沉积装置，包括：炉体，所述炉体内设置有容置腔；设置在所述容置腔内的支撑台，所述支撑台用于承载工件；向所述容置腔内输送沉积气的进气组件，所述进气组件设置有两组，且两组所述进气组件对称设置在所述容置腔的两侧；设置在所述炉体上，与所述容置腔连通的出气组件；驱动组件，所述驱动组件的输出端与所述支撑台相连，带动所述支撑台绕所述输出端的轴线方向转动的同时沿所述输出轴的轴线方向移动。本申请提供的化学气沉积装置，相较于现有技术而言，能够改善大尺寸或异形工件表面沉积厚度不均匀的问题，提高产品的性能。

本发明授权一种气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积装置，其特征在于，包括： 炉体1，所述炉体1内设置有容置腔； 设置在所述容置腔，用于承载工件2的支撑台3； 向所述容置腔内输送沉积气的进气组件，所述进气组件设置有两组，且两组所述进气组件对称设置在所述容置腔的两侧； 设置在所述炉体1上，与所述容置腔连通的出气组件； 驱动组件4，所述驱动组件4的输出端与所述支撑台3相连，带动所述支撑台3绕所述输出端的轴线方向转动的同时沿输出轴的轴线方向移动； 所述驱动组件4，包括： 与所述支撑台3相连的第一连杆41，所述第一连杆41远离所述支撑台3的一端与旋转驱动件42相连，以使得所述支撑台3绕所述第一连杆41的轴线方向转动； 套设在所述第一连杆41的外侧，与所述炉体1活动连接的第二连杆43，所述第二连杆43与移动驱动件44相连，所述移动驱动件44带动所述第二连杆43沿其轴线方向移动； 所述进气组件，包括：活动设置在所述炉体1的侧壁的进气管51，所述进气管51至少设置有两组，且沿所述炉体1的高度方向间隔设置；设置在所述容置腔内，与所述进气管51的出气端相连，用于向所述容置腔内均匀分布气流的分气件52； 所述进气组件，还包括：设置在所述炉体1外，与所述进气管51相连，用于调节所述进气管51与所述侧壁之间的角度的进气调节机构54；所述分气件52具体为：与所述进气管51的出气端连通的球状空腔，所述球状空腔的外表面均匀间隔设置有分气孔53； 所述出气组件，包括：与所述容置腔连通的出气管6，所述出气管6的出口处设置有用于打开关闭所述出气管6的开关，所述出气管6设置有两组，分别设置在所述炉体1的顶部和底部； 所述出气组件，还包括：真空抽气系统9，所述真空抽气系统9用以与所述出气管6相连，用于抽取所述容置腔内的气体。

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