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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利静电梳驱动的基于绝热耦合器的集成波导MEMS光开关获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115826143B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211240812.4，技术领域涉及：G02B6/35；该发明授权静电梳驱动的基于绝热耦合器的集成波导MEMS光开关是由李欢;胡寅鹏;戴道锌设计研发完成，并于2022-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本静电梳驱动的基于绝热耦合器的集成波导MEMS光开关在说明书摘要公布了：本发明公开了一种静电梳驱动的基于绝热耦合器的集成波导MEMS光开关。包括开关单元，开关单元包括基底、机械驱动结构和绝热耦合器，绝热耦合器包括平行布置的固定锥形波导和可移动锥形波导，可移动锥形波导与机械驱动结构相连，两种波导结构相同，长度相同但宽度渐变方向相反，呈中心对称排列。本发明通过静电梳驱动分开的绝热耦合器实现了光路切换的效果，具有带宽范围大、插入损耗低、串扰低、消光比高、制作工艺简单、加工成本低、功耗低、可扩展性强等显著优势。

本发明授权静电梳驱动的基于绝热耦合器的集成波导MEMS光开关在权利要求书中公布了：1.一种静电梳驱动的基于绝热耦合器的集成波导MEMS光开关，其特征在于： 包括至少一个开关单元，每个开关单元包括基底10以及置于基底上的机械驱动结构和绝热耦合器，所述的绝热耦合器包括固定锥形波导2和可移动锥形波导3，固定锥形波导2保持固定，固定锥形波导2和可移动锥形波导3均沿垂直于机械驱动结构的移动方向平行布置，固定锥形波导2两端均连接有弯曲波导，可移动锥形波导3的两端通过一对多模干涉交叉波导结构与机械驱动结构相连，由机械驱动结构带动可移动锥形波导3靠近或远离固定锥形波导2移动； 所述的机械驱动结构包括由固定静电梳6和移动静电梳7组成的静电梳驱动器、T形传动结构4以及三组固定岛和弹簧结构1、5、8； T形传动结构4悬空于基底10布置，T形传动结构4的顶杆部与可移动锥形波导3平行，底杆部与可移动锥形波导3垂直，T形传动结构4的底杆部从靠近可移动锥形波导3的一端开始沿着长度方向依次布置第一组固定岛和弹簧结构1、第二组固定岛和弹簧结构5、第三组固定岛和弹簧结构8，第一组固定岛和弹簧结构1、第二组固定岛和弹簧结构5、第三组固定岛和弹簧结构8均和T形传动结构4连接； 第二组固定岛和弹簧结构5、第三组固定岛和弹簧结构8之间的T形传动结构4两侧布置静电梳驱动器，静电梳驱动器包括一对固定静电梳6和一对移动静电梳7，固定静电梳6固定于基底10，一对固定静电梳6对称分布在T形传动结构4底杆部长度方向的两侧并且与T形传动结构4的底杆部之间无连接；移动静电梳7悬空于基底10布置，一对移动静电梳7对称分布在T形传动结构4底杆部长度方向的两侧，一对移动静电梳7靠近T形传动结构4底杆部的一端与底杆部的侧边固定相连；固定静电梳6和移动静电梳7的梳齿呈对向、交错穿插分布。

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