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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第十一研究所申请的专利一种碲锌镉衬底的重复利用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799100B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211521174.3，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权一种碲锌镉衬底的重复利用方法是由王琰璋;侯晓敏;李轩;柏伟;徐晓婷设计研发完成，并于2022-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碲锌镉衬底的重复利用方法在说明书摘要公布了：本申请的实施例揭示了一种碲锌镉衬底的重复利用方法，方法包括：对待重复利用碲锌镉衬底进行厚度检测，得到所述待重复利用碲锌镉衬底的厚度；将所述待重复利用碲锌镉衬底粘接到载片上；将粘接有所述待重复利用碲锌镉衬底的所述载片固定在金刚石砂轮减薄装置的载片台上，通过所述金刚石砂轮减薄装置根据所述待重复利用碲锌镉衬底的厚度对所述待重复利用碲锌镉衬底进行减薄加工；对加工完成的所述待重复利用碲锌镉衬底进行抛光，实现对所述待重复利用碲锌镉衬底的重复利用。本方法能够实现碲锌镉衬底的重复利用与再利用，提高碲锌镉衬底的利用率，提高重复利用效率及重复利用衬底质量控制一致性。在碲锌镉单晶生长难度大、加工难度大的情况下可以有效节约成本与资源。

本发明授权一种碲锌镉衬底的重复利用方法在权利要求书中公布了：1.一种碲锌镉衬底的重复利用方法，其特征在于，所述方法包括： 对待重复利用碲锌镉衬底进行厚度检测，得到所述待重复利用碲锌镉衬底的厚度； 将所述待重复利用碲锌镉衬底粘接到载片上； 将粘接有所述待重复利用碲锌镉衬底的所述载片固定在金刚石砂轮减薄装置的载片台上，通过所述金刚石砂轮减薄装置根据所述待重复利用碲锌镉衬底的厚度对所述待重复利用碲锌镉衬底进行减薄加工； 对加工完成的所述待重复利用碲锌镉衬底进行抛光，实现对所述待重复利用碲锌镉衬底的重复利用； 所述对待重复利用碲锌镉衬底进行厚度检测，得到所述待重复利用碲锌镉衬底的厚度，包括： 根据所述待重复利用碲锌镉衬底大小选取所述待重复利用碲锌镉衬底表面边缘部分及中间区域多个检测点，并对多个检测点的待重复利用碲锌镉衬底分别进行检测，对所述待重复利用碲锌镉衬底上碲镉汞母液残留位置的厚度进行检测得到最大值； 基于上述检测得到所述待重复利用碲锌镉衬底的厚度最值； 所述通过所述金刚石砂轮减薄装置根据所述待重复利用碲锌镉衬底的厚度对所述待重复利用碲锌镉衬底进行减薄加工，包括： 基于所述待重复利用碲锌镉衬底的厚度与所述待重复利用碲锌镉衬底外延前的厚度，获取所述待重复利用碲锌镉衬底上碲镉汞外延薄膜的厚度与碲镉汞母液残留的厚度，基于所述待重复利用碲锌镉衬底上碲镉汞外延薄膜的厚度与碲镉汞母液残留的厚度确定去除厚度； 基于根据所述待重复利用碲锌镉衬底的厚度和所述去除厚度去除所述待重复利用碲锌镉衬底上碲镉汞外延薄膜的厚度与碲镉汞母液残留； 通过划片装置对所述待重复利用碲锌镉衬底进行边缘去除； 在砂轮快速进给时，砂轮在待重复利用碲锌镉衬底与外延膜的最高处上方20μm～150μm处改变进给速率，根据去除厚度，分步以0.5μms～0.01μms递减砂轮进给速率。

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