科米特技术美国股份有限公司S·E·萨瓦斯获国家专利权
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龙图腾网获悉科米特技术美国股份有限公司申请的专利等离子体非均匀性检测获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114981917B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180008893.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体非均匀性检测是由S·E·萨瓦斯;A·德尚布里耶设计研发完成，并于2021-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体非均匀性检测在说明书摘要公布了：一种检测射频等离子体处理系统中的等离子体的非均匀性的方法，该方法包括：在所述射频等离子体处理系统的反应室内生成等离子体；以及用关于所述射频等离子体处理系统的室对称轴以方位角部署的多个传感器，检测来自等离子体的在从维持等离子体的射频功率的频率到大约十倍频率的倍数的频率范围内的电信号。该方法还包括将由所述多个传感器从等离子体拾取的电信号的波形进行比较；以及基于比较由所述多个传感器中的每一个检测到的等离子体的电性质来确定何时发生等离子体非均匀性。
本发明授权等离子体非均匀性检测在权利要求书中公布了：1.一种用于检测射频等离子体处理系统中的非均匀性的方法，该方法包括： 在所述射频等离子体处理系统的反应室内生成等离子体； 用多个传感器检测来自所述等离子体的在从维持所述等离子体的射频功率的频率到十倍频率的倍数的频率范围内的电信号，所述多个传感器部署在所述反应室内的一个或多个等离子体供电装置中的至少一个等离子体供电装置的表面上并且关于所述反应室的室对称轴以方位角部署； 将由所述多个传感器从所述等离子体拾取的电信号的波形进行比较；以及 基于由所述多个传感器中的每个传感器检测到的电信号的波形的比较来确定何时发生等离子体非均匀性。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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