科米特技术美国股份有限公司S·E·萨瓦斯获国家专利权
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龙图腾网获悉科米特技术美国股份有限公司申请的专利快速电弧检测匹配网络获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114930493B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180008626.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权快速电弧检测匹配网络是由S·E·萨瓦斯;A·德尚布里耶设计研发完成，并于2021-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本快速电弧检测匹配网络在说明书摘要公布了：一种检测射频等离子体处理系统中的等离子体不对称性的方法，该方法包括：向具有近似室对称轴的反应室提供射频功率，并从多个宽带电磁传感器接收射频信号。该方法还包括使用傅里叶分析处理射频信号，并基于射频信号的傅里叶分析确定反应室内已发生等离子体不对称。
本发明授权快速电弧检测匹配网络在权利要求书中公布了：1.一种用于控制射频功率发生器的自动阻抗匹配网络，包括： 所述自动阻抗匹配网络中的射频隔离隔间，所述射频隔离隔间具有多个信号输入端口和多个宽带射频检测器，所述多个宽带射频检测器具有多个输出端，每个信号输入端口连接到不同的宽带射频检测器，其中所述多个宽带射频检测器中的每一个包括被配置为根据频率分析信号的电路，并且所述多个宽带射频检测器中的每一个能够外部连接到宽带射频传感器并且从所述宽带射频传感器接收信号，所述宽带射频传感器与反应室相关联； 计算和逻辑处理器，连接到所述多个宽带射频检测器的多个输出端，所述计算和逻辑处理器被编程以确定每个频率分量的振幅和相位之间的差异；以及 来自所述计算和逻辑处理器的输出端，被配置为向所述反应室的处理控制器和射频发生器中的至少一个提供输入数据。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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