西默有限公司J·T·梅尔基奥尔获国家专利权
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龙图腾网获悉西默有限公司申请的专利用于减少准分子放电室窗口积尘的定向气体吹扫获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114868312B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080088521.0，技术领域涉及：H01S3/034；该发明授权用于减少准分子放电室窗口积尘的定向气体吹扫是由J·T·梅尔基奥尔设计研发完成，并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于减少准分子放电室窗口积尘的定向气体吹扫在说明书摘要公布了：一种光源设备包括室和金属氟化物阱，金属氟化物阱被耦合到室并且被配置为向与室耦合的一组窗口外壳设备提供清洁气体。每个窗口外壳设备被配置为减少光学窗口上的金属氟化物积尘，并且包括支撑光学窗口的窗口外壳、与窗口外壳耦合的孔径设备以及设置在孔径设备和光学窗口之间的插入件。孔径设备包括多个单元，多个单元被配置用于捕集从室通过孔径设备朝向光学窗口向上游流动的金属氟化物粉尘。插入件被配置用于控制清洁气体沿光学窗口的第一流速以及清洁气体穿过孔径设备的第二流速。
本发明授权用于减少准分子放电室窗口积尘的定向气体吹扫在权利要求书中公布了：1.一种光源设备，包括： 室，被配置为容纳气体放电介质，所述气体放电介质输出光束； 金属氟化物阱，被耦合到所述室并且被配置为捕集从所述室生成的金属氟化物粉尘且沿输出端口提供清洁气体；以及 一组窗口外壳设备，被耦合到所述室、并且被配置用于减少光学窗口上的金属氟化物积尘，其中每个窗口外壳设备包括： 支撑光学窗口的窗口外壳； 孔径设备，被耦合到所述窗口外壳并且包括多个单元，所述多个单元被配置为捕集从所述室通过所述孔径设备朝向所述光学窗口向上游流动的金属氟化物粉尘；以及 插入件，被设置在所述孔径设备和所述光学窗口之间，其中所述插入件被配置为控制所述清洁气体沿所述光学窗口的第一流速和所述清洁气体通过所述孔径设备的第二流速。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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