株式会社荏原制作所高桥太郎获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利研磨装置及研磨方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108098565B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201711189339.0，技术领域涉及：B24B37/013；该发明授权研磨装置及研磨方法是由高桥太郎;小川彰彦设计研发完成，并于2017-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨装置及研磨方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种使研磨工序的进行状况的测定精度提高的研磨装置及研磨方法。研磨装置100将研磨对象物102按压于研磨垫108进行研磨对象物102的研磨。涡电流传感器210在研磨对象物102的多个位置测定能够根据研磨对象物102的膜厚变化而变化的阻抗，并输出测定信号。差值算出部222基于测定信号生成对应于膜厚的数据。进一步，差值算出部222在研磨对象物102的中心CW，在不同时刻基于涡电流传感器210输出的测定信号来算出不同时刻的数据间的差值。终点检测部221基于差值算出部222算出的差值来检测表示研磨结束的研磨终点。
本发明授权研磨装置及研磨方法在权利要求书中公布了：1.一种研磨装置，一边使支承用于研磨研磨对象物的研磨垫的研磨台旋转，一边将所述研磨对象物按压于所述研磨垫，进行所述研磨对象物的研磨，所述研磨装置的特征在于，具有： 传感器，该传感器在所述研磨对象物的规定位置测定能够根据所述研磨对象物的膜厚变化而变化的物理量，并输出测定信号； 差值算出部，该差值算出部基于所述测定信号而生成对应于膜厚的数据，在所述研磨对象物的所述规定位置，基于所述研磨台旋转时所述传感器在不同时刻输出的所述测定信号，算出所述不同时刻的所述数据间的差值；及 终点检测部，该终点检测部在所述差值算出部所算出的所述差值的绝对值小于一定值时，检测表示所述研磨结束的研磨终点， 所述研磨装置具有多个所述传感器，多个所述传感器配置于通过所述研磨对象物的中心的点对称的位置，在所述不同时刻分别输出所述测定信号， 所述差值算出部根据多个所述传感器在所述不同时刻输出的所述测定信号而生成所述数据，并在各个所述不同时刻算出所述不同时刻的所述数据间的所述差值。
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