上海芯东来半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯东来半导体科技有限公司申请的专利一种传动机构及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223757023U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520247878.9，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种传动机构及光刻机是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传动机构及光刻机在说明书摘要公布了：本申请提供了一种传动机构及光刻机，属于光刻机技术领域。本申请中的传动机构通过在其传输路径上设置能够发出声波的第一支撑单元以及能够发出光波的第二支撑单元，通过第一支撑单元和动子之间产生的声压以及第二支撑单元和动子之间产生的光压支撑动子，从而能够使得动子在移动过程中不与导轨直接接触，继而解决了传统传动方法都存在有摩擦的问题。
本实用新型一种传动机构及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种传动机构，其特征在于，包括沿着所述传动机构的传输路径设置的支撑单元，以及能够沿着所述传动机构的传输路径移动的动子100，所述支撑单元包括能够发出声波的第一支撑单元200以及能够发出光波的第二支撑单元300，所述第一支撑单元200能够和沿着传输路径移动的动子100配合，并产生用于对所述动子100进行支撑的声压，所述第二支撑单元300能够和沿着传输路径移动的动子100配合，并产生用于对所述动子100进行支撑的光压； 其中所述第一支撑单元100和所述第二支撑单元200共同作用于所述动子，以能够对移动中的所述动子100进行支撑和或驱使所述动子100沿着所述传动机构的传输路径移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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