青岛方益技术有限公司尹晓明获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛方益技术有限公司申请的专利一种光罩固定装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223757020U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520110680.6，技术领域涉及：G03F1/82；该实用新型一种光罩固定装置是由尹晓明;王奕森设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光罩固定装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种光罩固定装置，包括旋转台和固定盒，固定盒固定在旋转台表面，固定盒为内部中空的矩形框结构，其内侧四个拐角处具有支撑件，支撑件上设置有用于固定光罩的卡槽。利用本实用新型提供的光罩固定装置对光罩进行除胶，将光罩通过多个卡槽固定在固定盒中，能够避免除胶过程中光罩晃动，另外，卡槽与光罩边缘的接触面积较小，能够避免误触光罩表面的金属铬层，避免对光罩造成伤害；此外，在除胶过程中，旋转台能够带动光罩在水平面上平稳转动，提高了操作的稳定性，确保了光罩的良率。
本实用新型一种光罩固定装置在权利要求书中公布了：1.一种光罩固定装置，其特征在于，包括旋转台和固定盒，所述固定盒固定在所述旋转台表面，所述旋转台带动所述固定盒在水平面内转动； 所述固定盒为内部中空的矩形框结构，其内侧四个拐角处具有支撑件，所述支撑件与所述旋转台表面垂直；在所述支撑件的高度方向上，所述支撑件的中间位置设置有卡槽，所述卡槽开口朝向所述固定盒内侧，光罩通过多个所述卡槽固定在所述固定盒中。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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