苏州圭石科技有限公司邓泽龙获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州圭石科技有限公司申请的专利一种多维高精度载台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223756871U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520268874.9，技术领域涉及：G01R31/28；该实用新型一种多维高精度载台是由邓泽龙;严长明;黄凌山设计研发完成，并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多维高精度载台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种多维高精度载台，包括底部滑台；所述底部滑台的上端滑动连接有Y轴机构，所述Y轴机构的上端滑动连接有X轴机构，所述X轴机构的上端滑动连接有第一Z轴结构，所述第一Z轴结构的上端连接有θ轴机构，所述θ轴机构的上端连接有载台机构，所述θ轴机构用于带动所述载台机构旋转，所述载台机构的一侧连接有第二Z轴结构。本实用新型通过上述X轴机构、Y轴机构、Z轴机构以及θ轴机构的配合使用，可有效提高精度，其中X轴结构可达±5μm，Y轴机构可达±5μm，而θ轴机构的旋转精度可达±0.02°，第一Z轴结构可达±2μm，可实现芯片和测试机探针卡进行精准对接，降低IGBT器件的不良率。
本实用新型一种多维高精度载台在权利要求书中公布了：1.一种多维高精度载台，其特征在于，包括底部滑台； 所述底部滑台的上端滑动连接有Y轴机构，所述Y轴机构的上端滑动连接有X轴机构，所述X轴机构的上端滑动连接有第一Z轴结构，所述第一Z轴结构的上端连接有θ轴机构，所述θ轴机构的上端连接有载台机构，所述θ轴机构用于带动所述载台机构旋转，所述载台机构的一侧连接有第二Z轴结构。
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