君原电子科技(海宁)有限公司石锗元获国家专利权
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龙图腾网获悉君原电子科技(海宁)有限公司申请的专利一种静电卡盘性能测试用底座获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223756786U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423315923.4，技术领域涉及：G01R1/04；该实用新型一种静电卡盘性能测试用底座是由石锗元;华亮;李君;肖伟设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘性能测试用底座在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种静电卡盘性能测试用底座，属于静电卡盘测试技术领域，测试用底座包括工作台，工作台的下方设有底板，工作台与底板通过若干连接杆进行连接，工作台与所述底板之间设有第一电极杆和第二电极杆，第一电极杆的顶部设有与静电卡盘电极孔配合的第一上电极杆，第二电极杆的顶部设有与静电卡盘电极孔配合的第二上电极杆，第一上电极杆与第二上电极杆的长度相等，第一上电极杆、第二上电极杆的长度大于待检测静电卡盘电极孔的深度。本申请通过设置第一上电极杆、第二上电极杆，与静电卡盘的电极孔配合，再供电即可进行测试；通过设置上槽和下槽，可以移动第二上电极杆，满足两个电极孔距离不同静电卡盘的测试。
本实用新型一种静电卡盘性能测试用底座在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘性能测试用底座，其特征在于，所述测试用底座包括绝缘的工作台1，所述工作台1的下方设有绝缘的底板2，所述工作台1与所述底板2通过若干连接杆3进行连接，所述工作台1与所述底板2之间设有第一电极杆12和第二电极杆8，所述第一电极杆12的顶部设有与静电卡盘电极孔配合的第一上电极杆5，所述第二电极杆8的顶部设有与静电卡盘电极孔配合的第二上电极杆6，所述第一上电极杆5与所述第二上电极杆6的长度相等，所述第一上电极杆5、所述第二上电极杆6的长度大于待检测静电卡盘电极孔的深度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人君原电子科技(海宁)有限公司，其通讯地址为：314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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