西安交通大学郭航获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种原位光照KPFM测试装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223756771U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422621958.4,技术领域涉及:G01Q60/30;该实用新型一种原位光照KPFM测试装置是由郭航设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原位光照KPFM测试装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种原位光照KPFM测试装置,包括KPFM测试仪本体;所述KPFM测试仪本体包括激光检测器、反光镜、分光镜、激光器以及样品台;由所述激光器发出的激光依次经过分光镜、样品台以及反光镜,进入激光检测器;靠近所述样品台的位置设有外加光源,所述外加光源的出光口与样品台之间的距离为3~5cm;所述激光检测器的入口处设置有滤光组件。该测试装置能够在保持测试环境真实性的同时,有效减少测试过程中的干扰因素,从而提升测试效率和精度,显著提升了利用KPFM进行原位光照测试的准确性和可靠性。
本实用新型一种原位光照KPFM测试装置在权利要求书中公布了:1.一种原位光照KPFM测试装置,其特征在于,包括KPFM测试仪本体1;所述KPFM测试仪本体1包括激光检测器11、反光镜12、分光镜13、激光器14以及样品台15;由所述激光器14发出的激光依次经过分光镜13、样品台15以及反光镜12,进入激光检测器11; 靠近所述样品台15的位置设有外加光源2,所述外加光源2的出光口与样品台15之间的距离为3~5cm; 所述激光检测器11的入口处设置有滤光组件3。
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