苏州迅微纳半导体科技有限公司林辉获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州迅微纳半导体科技有限公司申请的专利一种宽量程电容式薄膜真空计获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223756214U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520442951.8，技术领域涉及：G01L21/00；该实用新型一种宽量程电容式薄膜真空计是由林辉设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种宽量程电容式薄膜真空计在说明书摘要公布了：本实用新型为一种宽量程电容式薄膜真空计，其包括：外壳，设有收容腔和连通收容腔的进气口；弹性膜片，固定于收容腔内并形成活动电极，弹性膜片将收容腔分隔为真空腔和检测腔，检测腔与进气口连通设置；固定电极，设于真空腔内，固定电极包括第一固定电极和第二固定电极以及第三固定电极，第一固定电极和第二固定电极以及第三固定电极分别与弹性膜片间隔设置建立第一电容、第二电容和第三电容；第一电容、第二电容和第三电容之间保持间距；弹性膜片持续形变并接触第一固定电极时，输出相应的信号，从而切换到第二固定电极和第三固定电极组成差分电容对，从而扩展了测量范围，同时避免多种测量技术复合到一个真空计中，降低测量精度。
本实用新型一种宽量程电容式薄膜真空计在权利要求书中公布了：1.一种宽量程电容式薄膜真空计，其特征在于，其包括： 外壳1，设有收容腔11和连通所述收容腔11的进气口12； 弹性膜片2，固定于所述收容腔11内并形成活动电极，所述弹性膜片2将所述收容腔11分隔为真空腔111和检测腔112，所述检测腔112与所述进气口12连通设置； 固定电极3，设于所述真空腔111内，所述固定电极3包括第一固定电极31和第二固定电极32以及第三固定电极33，所述第一固定电极31与所述弹性膜片2间隔设置建立第一电容，所述第二固定电极32与所述弹性膜片2间隔设置建立第二电容，所述第三固定电极33与所述弹性膜片2间隔设置建立第三电容； 第一电容、第二电容和第三电容之间保持间距。
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