无锡市国瑞热控科技有限公司陈旻皓获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡市国瑞热控科技有限公司申请的专利一种半导体热处理设备中的管式加热炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223755769U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423133343.3,技术领域涉及:F27B17/00;该实用新型一种半导体热处理设备中的管式加热炉是由陈旻皓;苏妍怡;陈聚亮;陈国伟设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体热处理设备中的管式加热炉在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体热处理设备中的管式加热炉,所述炉体的外表面上套设有保温罐,所述保温罐的顶端通过支撑件与储液罐相连接,所述储液罐内设有回收组件,所述回收组件包括固定连接在所述储液罐内表面上的环形气管,所述环形气管的底端延伸至所述储液罐外,并与进气管固定连接,所述进气管上远离所述环形气管的一端与气泵固定连接,所述气泵通过连接气管与横管相连接,所述横管的底端上的等距离焊接有进气支管,在气泵的作用下,炉体内的热量通过进气支管流向环形气管,由于环形气管固定缠绕在储液罐内,使环形气管的热量对储液罐的液体进行加热,从而使炉体的热量转移至储液罐内进行储存,有效地避免热量流失。
本实用新型一种半导体热处理设备中的管式加热炉在权利要求书中公布了:1.一种半导体热处理设备中的管式加热炉,包括炉体1,其特征在于,所述炉体1内表面上等距离设有加热模块2,所述炉体1的外表面上套设有保温罐3,所述保温罐3与所述炉体1之间设有加热腔4,所述加热腔4内设有加热组件,所述保温罐3的顶端通过支撑件6与储液罐7相连接,所述储液罐7内设有回收组件,所述回收组件包括固定连接在所述储液罐7内表面上的环形气管14,所述环形气管14的顶端延伸至所述储液罐7外,并与出气管15固定连接,所述环形气管14的底端延伸至所述储液罐7外,并与进气管17固定连接,所述进气管17上远离所述环形气管14的一端与气泵18固定连接,所述气泵18通过连接气管19与横管21相连接,所述横管21焊接在所述保温罐3上,所述横管21的底端上的等距离焊接有进气支管22,所述进气支管22的底端贯穿所述加热腔4,并延伸至所述炉体1内,所述连接气管19上设有进气阀门20。
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