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龙图腾网获悉上海寰宇昊行航天科技有限公司申请的专利用于卫星电推进的基于微机电系统相变材料驱动气体微流量调节阀获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223754790U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520067722.2，技术领域涉及：F16K31/70；该实用新型用于卫星电推进的基于微机电系统相变材料驱动气体微流量调节阀是由徐晓明;王平阳设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于卫星电推进的基于微机电系统相变材料驱动气体微流量调节阀在说明书摘要公布了：本申请提供了一种用于卫星电推进的基于微机电系统的相变材料驱动的气体流量调节阀，包括基座、加热片、加热器、相变材料、变形片、出口片以及电极，出口片、变形片、相变材料、加热器、加热片、基座依次连接；基座上设置有基座通孔，加热片上设置有加热片通孔，变形片上设置有变形片凹槽以及变形片通孔，出口片上设置有控制空间以及与控制空间相连通的流量孔，其中，基座通孔、加热片通孔、变形片通孔、控制空间、流量孔依次相连通，通过给加热器通电加热使相变材料膨胀从而驱使变形片向靠近流量孔的方向发生弹性形变从而实现气体流量的控制。本申请工艺简单，体积小，响应时间快，控制电压小，实现了自动化的流量控制。

本实用新型用于卫星电推进的基于微机电系统相变材料驱动气体微流量调节阀在权利要求书中公布了：1.用于卫星电推进的基于微机电系统的相变材料驱动的气体流量调节阀，其特征在于，包括基座1、加热片2、加热器3、相变材料4、变形片5、出口片6以及电极8； 所述出口片6、变形片5、相变材料4、加热器3、加热片2、基座1依次连接； 所述基座1上设置有基座通孔11，所述加热片2上设置有加热片通孔21，所述变形片5上设置有变形片凹槽51，变形片通孔52以及波纹膜片53，所述出口片6上设置有控制空间61以及与控制空间61相连通的流量孔62； 所述基座通孔11、加热片通孔21、变形片通孔52、控制空间61、流量孔62依次相连通； 所述变形片5与加热片2将变形片凹槽51围成密封空间，所述相变材料4填充在变形片凹槽51中； 所述相变材料4与加热片2之间设置有加热器3； 所述加热器3的两端分别与电极8连接； 当加热器3通电加热时，所述相变材料4膨胀驱使变形片5向靠近流量孔62的方向发生弹性形变； 所述加热片2采用硼硅玻璃材料，所述加热片通孔21为两个相互呈轴对称的弧形通孔； 所述加热器3采用铂材质，所述加热器3为由多个平行等距的电阻丝首尾串联形成的蛇形结构； 所述加热片2与加热器3通过金属沉淀的方式连接； 所述变形片5采用硅晶圆制成，所述变形片凹槽51为圆柱形空间； 所述变形片通孔52为弧形通孔且数量为两个； 所述两个变形片通孔52对称设置在变形片凹槽51的两侧； 所述变形片形变部分为波纹膜片53。

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