哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司申请的专利减少大厚度晶体内部应力的工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223752950U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423252643.3,技术领域涉及:C30B15/14;该实用新型减少大厚度晶体内部应力的工装是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本减少大厚度晶体内部应力的工装在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶体加工技术领域,具体涉及减少大厚度晶体内部应力的工装,包括外工装本体;所述外工装本体的内部设置有内工装本体,所述外工装本体和内工装本体之间设置有调节应力组件,所述外工装本体的顶部固定安装有安装架,所述内工装本体的底部设置有可开合的底板,所述内工装本体的内部设置有放置架,本实用新型通过设置的调节应力组件,加热管在加热过程中,由于其呈现螺纹状,且尺寸从下到下依次递增,从而在对导热材料进行温度传递的过程中,内工装本体内部的温度从上到下依次递减,从而能够确保晶体在尽量热传递的时候,能够有效的控制晶体内部的温度梯度,避免出现浸提生长时温度波动大从而导致的内部应力增大问题。
本实用新型减少大厚度晶体内部应力的工装在权利要求书中公布了:1.减少大厚度晶体内部应力的工装,其特征在于,包括外工装本体1;所述外工装本体1的内部设置有内工装本体2,所述外工装本体1和内工装本体2之间设置有调节应力组件,所述外工装本体1的顶部固定安装有安装架3,所述内工装本体2的底部设置有可开合的底板,所述内工装本体2的内部设置有放置架25; 所述调节应力组件包括加热管12,所述加热管12位于外工装本体1和内工装本体2之间,所述加热管12的形状设置为螺纹状,且加热管12的尺寸从上到下依次递增,所述内工装本体2的内壁开设有导流槽一21,所述内工装本体2的内壁开设有导流槽二22,所述导流槽一21与导流槽二22贯通连接,所述内工装本体2的顶部开设有注入口。
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