苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司朴钟熏获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州精材半导体科技有限公司;北京精材半导体科技有限公司申请的专利连续式环形气相沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223752893U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423311034.0,技术领域涉及:C23C16/54;该实用新型连续式环形气相沉积设备是由朴钟熏;崔海珍;金锡津设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本连续式环形气相沉积设备在说明书摘要公布了:本申请涉及化学气相沉积技术领域,特别地涉及一种连续式环形气相沉积设备,包括:主体装置以及环形输送装置,所述主体装置罩设在所述环形输送装置上,所述主体装置沿着所述环形输送装置的转动方向依次形成有准备室、反应室和热处理室;气体支持装置,与所述主体装置连接,用于为所述主体装置提供气体环境;反应容器,能够被放置在所述主体装置内,所述反应容器能够在所述环形输送装置上的带动下圆周运动并依次经过所述准备室、所述反应室和所述热处理室;所述气体支持装置能够与位于所述准备室、所述反应室和所述热处理室中的任意一个中的所述反应容器连接,并为所述反应容器提供对应的气体环境。
本实用新型连续式环形气相沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种连续式环形气相沉积设备,其特征在于,包括: 主体装置以及环形输送装置,所述主体装置罩设在所述环形输送装置上,所述主体装置沿着所述环形输送装置的转动方向依次形成有准备室、反应室和热处理室; 气体支持装置,与所述主体装置连接,用于为所述主体装置提供气体环境; 反应容器,能够被放置在所述主体装置内,所述反应容器能够在所述环形输送装置上的带动下圆周运动并依次经过所述准备室、所述反应室和所述热处理室; 所述气体支持装置能够与位于所述准备室、所述反应室和所述热处理室中的任意一个中的所述反应容器连接,并为所述反应容器提供对应的气体环境。
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