北京大学深圳研究生院陈召龙获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学深圳研究生院申请的专利一种化学气相沉积装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223752892U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520099565.3,技术领域涉及:C23C16/503;该实用新型一种化学气相沉积装置是由陈召龙;姜城城;王江涛;刘俊;王飞阳设计研发完成,并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种化学气相沉积装置。本申请的化学气相沉积装置包括高温炉、样品管、真空法兰、引线电极法兰、电极和电极支架;高温炉具有容纳样品管的型腔;样品管具有容纳样品的空腔,样品管两端分别由真空法兰和引线电极法兰封闭;引线电极法兰外侧面具有连接电源的接头;电极安装在电极支架上;电极支架置于样品管内,电极支架通过导线与接头连接;使用时,引线电极法兰的接头连电源,使电极在样品管内产生电场。本申请在样品管内部引入电场,能有效调控气态反应物在反应区的分布和迁移,优化沉积工艺,提高材料性能和制备效率;并且,本申请的化学气相沉积装置结构简便,操作方便,兼容性好,适用于多种材料的化学气相沉积制备及科学研究。
本实用新型一种化学气相沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种化学气相沉积装置,其特征在于:包括高温炉1、样品管2、真空法兰3、引线电极法兰4、电极5和电极支架6; 所述高温炉1具有容纳样品管2的型腔,用于提供高温加热条件; 所述样品管2具有容纳样品的空腔,样品管2的两端分别由真空法兰3和引线电极法兰4封闭; 所述引线电极法兰4外侧面具有连接电源的接头; 所述电极5安装在电极支架6上; 所述电极支架6置于样品管2内,用于搭载电极5,电极支架6通过导线与引线电极法兰4的接头连接;使用时,引线电极法兰4的接头连接电源,使得电极5在样品管内部产生电场。
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