浙江芯动科技有限公司李威获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯动科技有限公司申请的专利一种新型磁控溅射靶材厚度检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223752884U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520250908.1，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种新型磁控溅射靶材厚度检测设备是由李威;周岩;刘聪设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型磁控溅射靶材厚度检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体镀膜设备技术领域，尤其涉及一种新型磁控溅射靶材厚度检测设备，包括主腔室，主腔室内有背板、左挡板和右挡板，通过在溅射设备工艺腔中设置轨道传动件、导轨和红外测距传感器，轨道传动件驱动导轨移动，红外测距传感器沿着跟着导轨移动进行直线测量红外测距传感器到靶材表面的距离，接着计算得到靶材的剩余厚度，实现了靶材厚度的实时监测，精准的确定靶材的更换时间；与现有技术相比，本实用新型提高测量精度和提高机台的生产效率。
本实用新型一种新型磁控溅射靶材厚度检测设备在权利要求书中公布了：1.一种新型磁控溅射靶材厚度检测设备，其特征在于， 包括主腔室1， 主腔室1内设有放置靶材201的背板2、左挡板3和右挡板4， 背板2、左挡板3和右挡板4均与主腔室1内壁固定， 靶材201固定于背板2下方，左挡板3和右挡板4均置于靶材201下方， 左挡板3和右挡板4对称分布， 主腔室1一侧设有与主腔室1连通的轨道腔室5， 主腔室1和轨道腔室5之间设有导轨6和轨道传动件7， 导轨6置于轨道传动件7上且与轨道传动件7滑动连接， 导轨6上设有红外测距传感器10，红外测距传感器10置于左挡板3和右挡板4之间，红外测距传感器10置于导轨6上与导轨6滑动连接。
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