晶澳(扬州)太阳能科技有限公司卜长飞获国家专利权
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龙图腾网获悉晶澳(扬州)太阳能科技有限公司申请的专利一种磁控溅射载板、磁控溅射设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223752879U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423179321.0,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种磁控溅射载板、磁控溅射设备是由卜长飞;段光亮;贾建荣设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射载板、磁控溅射设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种磁控溅射载板、磁控溅射设备,涉及光伏技术领域,以解决现有磁控溅射载板难以在硅片形成面积小的镀膜的技术问题。该磁控溅射载板,用于光伏电池片的镀膜,载板包括基板和至少一个遮板,遮板上具有至少一个第一镂空结构;遮板的位于第一镂空结构的周侧部位,用于阻挡镀膜沉积在光伏电池片的周向边缘;其中,周向边缘的宽度大于预设宽度;基板具有至少一个第二镂空结构,基板的位于第二镂空结构的周侧部位用于支承光伏电池片;每个第一镂空结构的中心与相应第二镂空结构的中心的连线垂直于基板。该磁控溅射载板可调整形成在硅片上的镀膜有效面积。
本实用新型一种磁控溅射载板、磁控溅射设备在权利要求书中公布了:1.一种磁控溅射载板,其特征在于,用于光伏电池片的镀膜,所述载板包括基板和至少一个遮板,所述遮板上具有至少一个第一镂空结构; 所述遮板的位于所述第一镂空结构的周侧部位,用于阻挡镀膜沉积在所述光伏电池片的周向边缘;其中,所述周向边缘的宽度大于预设宽度; 所述基板具有至少一个第二镂空结构,所述基板的位于所述第二镂空结构的周侧部位用于支承所述光伏电池片; 每个所述第一镂空结构的中心与相应所述第二镂空结构的中心的连线垂直于所述基板。
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