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中科艾科米(北京)科技有限公司王一朗获国家专利权

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龙图腾网获悉中科艾科米(北京)科技有限公司申请的专利一种新型蒸发源获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223752878U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520278452.X,技术领域涉及:C23C14/26;该实用新型一种新型蒸发源是由王一朗;陈微设计研发完成,并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种新型蒸发源在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种新型蒸发源,包括:固定组件,所述固定组件用于支撑和固定所述蒸发源;降温组件,所述降温组件用于对所述蒸发源中的坩埚进行降温,所述降温组件包括液冷组件和安装座,所述液冷组件安装在所述固定组件上,所述液冷组件用于将冷却液输送至所述安装座内,所述安装座用于安装多个所述坩埚;连接组件,所述连接组件用于实现所述液冷组件和所述安装座可拆卸连接;以及调节组件,所述调节组件安装在所述固定组件上,所述调节组件用于选定所述坩埚进行工作。通过连接组件将液冷组件与安装座实现可拆卸地连接,方便对出现问题的部件进行拆卸更换,液冷组件与安装座可拆分,降低了制造难度和成本。

本实用新型一种新型蒸发源在权利要求书中公布了:1.一种新型蒸发源,其特征在于,包括: 固定组件,所述固定组件用于支撑和固定所述蒸发源; 降温组件,所述降温组件用于对所述蒸发源中的坩埚进行降温,所述降温组件包括液冷组件和安装座,所述液冷组件安装在所述固定组件上,所述液冷组件用于将冷却液输送至所述安装座内,所述安装座用于安装多个所述坩埚; 连接组件,所述连接组件用于实现所述液冷组件和所述安装座可拆卸连接;以及 调节组件,所述调节组件安装在所述固定组件上,所述调节组件用于选定所述坩埚进行工作。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中科艾科米(北京)科技有限公司,其通讯地址为:101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号院7号楼南端一至二层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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