浙江芯动科技有限公司李威获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯动科技有限公司申请的专利一种适用于MEMS芯片制造的Wafer推片器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223752438U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520143200.6，技术领域涉及：B81C99/00；该实用新型一种适用于MEMS芯片制造的Wafer推片器是由李威;周岩;刘聪设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于MEMS芯片制造的Wafer推片器在说明书摘要公布了：本实用新型属于芯片制造技术领域，尤其涉及一种适用于MEMS芯片制造的Wafer推片器，包括基座，基座上端面设有用于放置晶圆片的卡塞一与卡塞二，基座一侧开设有滑槽，基座下端面设有推动组件，推动组件包括步进电机、拉板、安装座、推板、定位轴和安装杆，步进电机安装于基座下端面，步进电机输出端套设有齿轮，拉板端面设有与齿轮啮合的凸齿，拉板一端与齿轮抵触另一端经过滑槽与安装座固定，定位轴和安装杆固定于安装座上端面，推板上开设有用于与定位轴与安装杆连接的固定孔与定位孔，安装杆上等距设有若干与定位孔连接的对接孔；与现有技术相比，本实用新型可以解决单片晶圆周转的问题。
本实用新型一种适用于MEMS芯片制造的Wafer推片器在权利要求书中公布了：1.一种适用于MEMS芯片制造的Wafer推片器，包括基座1，其特征在于：所述基座1上端面设有用于放置晶圆片的卡塞一2与卡塞二3， 基座1一侧开设有滑槽4，基座1下端面设有推动组件， 推动组件包括步进电机5、拉板6、安装座7、推板8、定位轴9和安装杆10，步进电机5安装于基座1下端面，步进电机5输出端套设有齿轮11，拉板6端面设有与齿轮11啮合的凸齿12，拉板6一端与齿轮11抵触另一端经过滑槽4与安装座7固定，定位轴9和安装杆10固定于安装座7上端面， 推板8上开设有用于与定位轴9与安装杆10连接的固定孔与定位孔，安装杆10上等距设有若干与定位孔连接的对接孔13。
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