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龙图腾网获悉上海拜安传感技术有限公司;上海拜安半导体有限公司申请的专利一种真空微腔干涉仪芯片及高灵敏度光学压力传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223752436U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520066298.X，技术领域涉及：B81B7/00；该实用新型一种真空微腔干涉仪芯片及高灵敏度光学压力传感器是由钟少龙;龙亮;郭智慧设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空微腔干涉仪芯片及高灵敏度光学压力传感器在说明书摘要公布了：本公开涉及一种真空微腔干涉仪芯片及高灵敏度光学压力传感器，该真空微腔干涉仪芯片包括：第一基底结构、第二基底结构和第三基底结构，第一基底结构下表面被设置有第一反射面；第二基底结构被设置在第一基底结构朝向第一基底结构下表面一侧与第三基底结构朝向第三基底结构上表面一侧之间，第二基底结构上表面被构造有与第一反射面相对且平行的第二反射面，第三基底结构被构造有光学通孔；第一基底结构、第二基底结构和第三基底结构分别被构造成相对其中轴线对称的结构。此外，本公开还提供了一种高灵敏度光学压力传感器。本公开一些实施例中所提供的真空微腔干涉仪芯片及高灵敏度光学压力传感器的测量灵敏度高，使用便捷，适应性强。

本实用新型一种真空微腔干涉仪芯片及高灵敏度光学压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种真空微腔干涉仪芯片，其特征在于，包括： 第一基底结构、第二基底结构和第三基底结构； 所述第一基底结构被构造有第一基底结构上表面和第一基底结构下表面，所述第一基底结构上表面被构造成上表面与侧面围绕的膜-岛结构，所述第一基底结构下表面被设置有第一反射面； 所述第二基底结构被构造有第二基底结构上表面和第二基底结构下表面，所述第二基底结构被设置在所述第一基底结构朝向所述第一基底结构下表面一侧与所述第三基底结构朝向所述第三基底结构上表面一侧之间，所述第二基底结构上表面被构造有与所述第一反射面相对且平行的第二反射面； 所述第三基底结构被构造有第三基底结构上表面和第三基底结构下表面，所述第三基底结构被构造有贯通所述第三基底结构上表面与所述第三基底结构下表面的光学通孔； 所述第一基底结构、所述第二基底结构和所述第三基底结构分别被构造成相对其中轴线对称的结构；所述第一基底结构下表面被设置成与所述第二基底结构上表面连接，所述第二基底结构下表面被设置成与所述第三基底结构上表面连接。

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