上海积塔半导体有限公司宋林飞获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利化学机械研磨液传送装置及研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223749401U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520190117.4，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型化学机械研磨液传送装置及研磨设备是由宋林飞;杨俊男;闫晓晖设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械研磨液传送装置及研磨设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种化学机械研磨液传送装置及研磨设备，所述传送装置包括：多个传送管路，各个所述传送管路的第一端设有喷嘴，所述喷嘴设置于化学机械研磨设备的研磨垫上方，且所述多个传送管路的喷嘴分别沿所述研磨垫的径向依次排列；流量控制模块，所述流量控制模块连接于各个所述传送管路的第二端，所述流量控制模块用于分别控制各个所述传送管路的液体传输通道的研磨液流量。本申请通过分别控制研磨垫上方的各个喷嘴的研磨液流量形成不同浓度的环形研磨液带，有利于形成产品更好的平坦度，并且减少研磨垫调整器的使用时间，并且节约了研磨盘和研磨垫的使用量。
本实用新型化学机械研磨液传送装置及研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种化学机械研磨液传送装置，其特征在于，包括： 多个传送管路，各个所述传送管路的第一端设有喷嘴，所述喷嘴设置于化学机械研磨设备的研磨垫上方，且所述多个传送管路的喷嘴分别沿所述研磨垫的径向依次排列； 流量控制模块，所述流量控制模块的第一端用于输入研磨液，所述流量控制模块的第二端连接于各个所述传送管路的第二端，所述流量控制模块用于分别控制各个所述传送管路的液体传输通道的研磨液流量。
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