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上海亿鼎技术(集团)有限公司郭伟获国家专利权

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龙图腾网获悉上海亿鼎技术(集团)有限公司申请的专利一种用于半导体机台上的定容罐获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223749400U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520248405.0,技术领域涉及:B24B57/00;该实用新型一种用于半导体机台上的定容罐是由郭伟设计研发完成,并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于半导体机台上的定容罐在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于半导体机台上的定容罐,通过可拆卸固定组件固定于半导体机台一侧的透明中空管体,可适应不同机台规格;同时,本实用新型在中空管体上设置有液位传感器和容量刻度,并在中空管体上下端口焊接固定第一透明板和第二透明板,确保了密封性,并且,通过分别采用具有良好的化学稳定性和透明度的PVC材质和PFA材质,节约了成本,且便于观察和维护;通过管道上各阀门的设置并通过与外置PLC控制器信号连接,可实现阀门控制和液位监测,提高了液体加液和排出的准确度;此外,通过三通管和排风管的设置,使定容罐同时具备清洗和排气功能,确保了内部清洁和工作环境安全。

本实用新型一种用于半导体机台上的定容罐在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体机台上的定容罐,其特征在于,包括透明的中空管体4和设置于所述中空管体4内的液位传感器7,所述液位传感器7用于检测所述中空管体4内液面位置; 所述中空管体4的上端端口和下端端口分别固定有第一透明板5和第二透明板6;所述中空管体4、所述第一透明板5和所述第二透明板6均采用PVC材质; 所述第一透明板5上开设有进液口,所述进液口上固定连通有进液主管51,所述进液主管51的进口处同时连通有进液支管52和进水支管53,使所述进液主管51、所述进液支管52和所述进水支管53形成三通管路;其中,所述进液主管51上设有进口手阀511,用于控制进液主管51的通断,并且,所述进液支管52上设有第一手阀521和第一气动阀522,所述进水支管53上设有第二气动阀531; 所述第二透明板6上开设有出液口,所述出液口上固定连通有出液主管61,所述出液主管61的出口处同时连通有出液支管62和排废支管63,使所述出液主管61、所述出液支管62和所述排废支管63形成三通管路;其中, 所述出液支管62连通至半导体机台1上的混液储罐12,所述排废支管63连通至半导体机台1上的排液系统11;所述出液主管61上设有出口手阀611,用于控制出液主管61的通断,所述出液支管62上设有第三气动阀621,所述排废支管63上设有第四气动阀631。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海亿鼎技术(集团)有限公司,其通讯地址为:202171 上海市崇明区跃新路1688号9幢3032室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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