北京燕东微电子科技有限公司张恩鸣获国家专利权
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龙图腾网获悉北京燕东微电子科技有限公司申请的专利清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223749323U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422946666.8，技术领域涉及：B24B27/033；该实用新型清洁装置是由张恩鸣;陈兆震;纪开勋;郭艳玲;潘卓伟设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洁装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体领域，具体地提供一种清洁装置，清洁装置包括清洁磨盘和抽气组件，抽气组件包括抽气管，抽气管具有抽气端和排气端，排气端用于连接到真空发生器；清洁磨盘中设有清洁通道，清洁通道的两端分别延伸至清洁磨盘的第一表面和第二表面，抽气管的抽气端与清洁通道连通，清洁磨盘能够相对于静电吸盘运动，以通过其第一表面的摩擦，使静电吸盘上的污染物从所述静电吸盘上脱离，抽气组件能够将所述污染物吸走，在清洁装置清洁的过程中，抽气组件能够及时彻底地将从静电吸盘上脱离下来的污染物吸走，提高了清洁效果。
本实用新型清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种清洁装置，所述清洁装置能够用于清洁光刻机的静电吸盘，其特征在于，所述清洁装置包括： 抽气组件，包括抽气管，所述抽气管具有抽气端和排气端，所述排气端用于连接到真空发生器；和 清洁磨盘,所述清洁磨盘中设有清洁通道，所述清洁通道的第一端延伸至所述清洁磨盘的第一表面，所述清洁通道的第二端延伸至所述清洁磨盘的第二表面，所述抽气管的抽气端与所述清洁通道的第二端连通； 其中，所述清洁磨盘能够相对于静电吸盘运动，以通过其第一表面的摩擦，使所述静电吸盘上的污染物从所述静电吸盘上脱离，所述抽气组件能够将所述污染物吸走； 所述清洁通道内设有清洁管，所述清洁管的第一端延伸至所述第一表面，所述清洁管的第二端与所述抽气管的抽气端连通； 所述清洁装置还包括设有通孔的固定件，所述固定件与所述清洁磨盘固定连接，所述清洁管穿设于所述通孔中； 所述固定件为固定壳，所述固定壳具有敞口设置的容纳腔，所述清洁磨盘安装在所述容纳腔内。
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