上海高笙集成电路设备有限公司崔汉博获国家专利权
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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种等离子尾气处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223747302U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423295010.0，技术领域涉及：B01D53/32；该实用新型一种等离子尾气处理设备是由崔汉博;杜全成设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子尾气处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子尾气处理设备，包括尾气处理单元、进气单元、冷却降温单元和水洗吸附单元，尾气处理单元包括等离子体发生器和等离子体反应组件，等离子体反应组件形成反应腔，所述反应腔还连通有供应氧气或空气的外部管路；进气单元包括若干周向布置的进气管路；冷却降温单元形成降温腔，所述降温腔向上与反应腔连通；水洗吸附单元，包括涤气塔，涤气塔的进气口与Z形通道的末端连通，涤气塔对流经的尾气进行水洗吸附，且涤气塔设有与外界连通的排气口。本实用新型结构合理、尾气处理效果好、有利于简化结构体积小型化。
本实用新型一种等离子尾气处理设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子尾气处理设备，其特征在于，包括： 尾气处理单元，包括等离子体发生器1和等离子体反应组件2，所述等离子体发生器1产生的热等离子射流进入等离子体反应组件2所形成的反应腔21内后对其中的尾气进行净化处理，所述反应腔21还连通有供应氧气或空气的外部管路； 进气单元，包括若干周向布置的进气管路7，所述进气管路7的出气口设于反应腔21的上部，尾气可经进气管路7进入反应腔21内； 冷却降温单元，所述冷却降温单元形成降温腔，所述降温腔向上与反应腔21连通，且所述降温腔内固设有若干面向反应腔的挡流板31，若干所述挡流板31形成Z形通道32,所述降温腔的还分别连通有进水口35和出水口，所述进水口35供应的冷却水沿Z形通道32向下经出水口排出； 水洗吸附单元，包括涤气塔4，所述涤气塔4的进气口与Z形通道32的末端连通，所述涤气塔4对流经的尾气进行水洗吸附，且涤气塔4设有与外界连通的排气口。
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