新台佳光电有限公司彭裕国获国家专利权
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龙图腾网获悉新台佳光电有限公司申请的专利一种高强度高效率的盘片激光切割倒棱裂片方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121042716B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511606007.2,技术领域涉及:B23K26/36;该发明授权一种高强度高效率的盘片激光切割倒棱裂片方法是由彭裕国;王平;王保新;韩向东;江峰设计研发完成,并于2025-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高强度高效率的盘片激光切割倒棱裂片方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种高强度高效率的盘片激光切割倒棱裂片方法,包括:获取透明玻璃原料并进行真空吸附与基准块定位;将红外飞秒激光转化为长焦深贝塞尔光束;利用长焦深贝塞尔光束对透明玻璃原料进行环形外形的内圆和外圆预切割,并设置标记点,得到工件;前期判断工件是否需要进行蚀刻,若是,则依次进行空间光调制器外圆切割、相机定位、飞秒倒内圆、热裂、轻度碱性蚀刻和收料,得到合格环状盘片成品;若否,则依次进行相机定位、飞秒倒内圆、皮秒倒外圆、热裂和收料,得到合格环状盘片成品。本发明解决了盘片激光切割倒棱裂片工艺强度低效率慢的问题,能够在大幅面圆盘加工场景下,实现强度、效率、洁净度与耗材寿命的综合最优。
本发明授权一种高强度高效率的盘片激光切割倒棱裂片方法在权利要求书中公布了:1.一种高强度高效率的盘片激光切割倒棱裂片方法,其特征在于,包括: 获取透明玻璃原料,将所述透明玻璃原料置于切割载台进行真空吸附与基准块定位,完成夹持操作; 将红外飞秒激光依次经过反射镜、扩束镜、贝塞尔模组与聚焦物镜,得到长焦深贝塞尔光束; 利用所述长焦深贝塞尔光束对所述透明玻璃原料进行环形外形的内圆和外圆预切割,并在中心废料区切圆字形或十字形作为标记点,得到工件; 判断所述工件前期是否需要进行蚀刻,若是,则依次进行空间光调制器外圆切割、相机定位、飞秒倒内圆、热裂、轻度碱性蚀刻和收料,得到合格环状盘片成品; 判断所述工件前期是否需要进行蚀刻,若否,则依次进行相机定位、飞秒倒内圆、皮秒倒外圆、热裂和收料,得到合格环状盘片成品。
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