买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉昆山科比精工设备有限公司申请的专利一种PET铜箔制作用靶材溅射角度控制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120989570B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511520725.8，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种PET铜箔制作用靶材溅射角度控制装置是由王万生设计研发完成，并于2025-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种PET铜箔制作用靶材溅射角度控制装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种PET铜箔制作用靶材溅射角度控制装置，用于解决现有技术中靶材利用率低、覆膜均匀性差、靶材寿命短且更换繁琐、工艺适应性有限以及生产效率受限的问题。为此，本发明提供一种PET铜箔制作用靶材溅射角度控制装置，包括：密封工作舱、放卷端、真空溅射腔、氩气等离子清洗腔、惰性气体过渡腔、水平电镀段和收卷端，各腔体依次首尾相接，相互连通。真空溅射腔内设置有磁极机构和靶材支撑调节机构，其中靶材支撑调节机构用于调节靶材的位置和溅射角度，与磁极机构协同配合，可动态调整靶材位置，优化磁场分布，扩展有效刻蚀区域，优化等离子体的密度分布，减少边缘材料浪费，提升靶材利用率，保证覆膜均匀性。

本发明授权一种PET铜箔制作用靶材溅射角度控制装置在权利要求书中公布了：1.一种PET铜箔制作用靶材溅射角度控制装置，其特征在于，包括：密封工作舱1、放卷端2、真空溅射腔3、氩气等离子清洗腔4、惰性气体过渡腔5、水平电镀段6和收卷端7，所述放卷端2、真空溅射腔3、氩气等离子清洗腔4、惰性气体过渡腔5、水平电镀段6和收卷端7由左至右依次排列，且依次首尾相接，相互连通，所述放卷端2和真空溅射腔3的外部罩设有密封工作舱1； 其中，所述密封工作舱1用于隔离外部环境，为PET膜布输入和换向传送提供一个防尘和防氧化的环境； 其中，所述放卷端2用于输出未覆膜的PET膜布，并对仅完成一面覆膜的PET膜布进行换面换向，向真空溅射腔3输出； 其中，所述真空溅射腔3用于通过磁控溅射，使PET膜布表面沉积金属，形成导电层； 其中，所述氩气等离子清洗腔4用于通过高能离子轰击PET膜表面沉积层，清除膜布表面杂质，加大膜布表面的粗糙度，氩气电离产生的活性自由基活化表面分子结构； 其中，所述惰性气体过渡腔5用于通过惰性气体，维持腔体内惰性环境，并平衡前后腔体压力差； 其中，所述水平电镀段6用于通过水电镀增厚和均匀化PET膜布表面的金属层； 其中，所述收卷端7用于收卷已完成双面覆膜的PET膜布，并对仅完成一面覆膜的PET膜布进行换向，向放卷端2输出； 所述真空溅射腔3包括真空腔室301、膜布传送槽302、旋转密封盖板303和隔离板304，所述放卷端2的右端固定连通有真空腔室301，所述真空腔室301的左壁和右壁均开设有两个膜布传送槽302，且左壁膜布传送槽302与右壁膜布传送槽302的位置呈水平对应，所述真空腔室301的顶部安装有旋转密封盖板303，所述真空腔室301的中部安装有隔离板304，所述真空溅射腔3膜布传送槽302的内外两侧均安装有气体过渡盒8，且氩气等离子清洗腔4、惰性气体过渡腔5和水平电镀段6的连通槽口内外两侧也均安装有气体过渡盒8，所述真空腔室301内的底部和顶部均安装有一组磁极机构9，所述真空腔室301内设置有四组靶材支撑调节机构10，其中两组靶材支撑调节机构10设置于隔离板304上方和上部的一组磁极机构9下方间，另外两组靶材支撑调节机构10设置于隔离板304下方和下部的一组磁极机构9上方间； 其中，所述气体过渡盒8用于膜布在各处理段连续传送时，限制槽间的气体流通，避免槽间气体直接混合，实现气压的渐进过渡； 其中，所述磁极机构9用于调节磁体的间距，动态优化磁场分布； 其中，所述靶材支撑调节机构10用于调节靶材的位置和溅射角度，与磁极机构9协同配合，可动态调整靶材位置，扩展有效刻蚀区域，优化等离子体的密度分布，控制影响PET膜布的溅射结构； 所述气体过渡盒8包括过渡盒体801、过渡传送口802、固定隔板803、安装滑座804、密封橡胶辊805、第一六角传动轴806、密封传动带轮807、旋转轴套808、第一主动锥齿轮809、第一从动锥齿轮810和联动直齿轮811，所述过渡盒体801的左壁和右壁均开设有过渡传送口802，所述过渡盒体801的前部和后部间均安装有固定隔板803，两个所述固定隔板803的左部和右部内均滑动设置有安装滑座804，且前部安装滑座804和后部安装滑座804的位置呈垂直对应，前后位置垂直对应的两个安装滑座804呈一对，每对所述安装滑座804间的上部和下部均转动安装有密封橡胶辊805，且相邻的两个密封橡胶辊805转动相切，两对密封橡胶辊805的相切线均与过渡传送口802的水平中心线处于同一水平面上，左部一对密封橡胶辊805与过渡盒体801的左壁内侧转动相切，右部一对密封橡胶辊805与过渡盒体801的右壁内侧转动相切，所述过渡盒体801的左壁前部、右壁前部和真空腔室301的左壁与右壁前部内均对应转动设置有旋转轴套808，设置于真空腔室301内侧和外侧，处于同一水平线上的两个相邻所述过渡盒体801的旋转轴套808内壁间均固定套接有第一六角传动轴806，所述第一六角传动轴806的外端均固定套接有密封传动带轮807，所述第一六角传动轴806的外壁滑动套接有四个第一主动锥齿轮809，下部所述密封橡胶辊805的前端外壁固定套接有第一从动锥齿轮810，且位置相对应的第一主动锥齿轮809和第一从动锥齿轮810啮合连接，所述密封橡胶辊805的后端外壁均固定套接有联动直齿轮811，且上下相邻的两个联动直齿轮811啮合连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昆山科比精工设备有限公司，其通讯地址为：215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇紫竹路1398号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。