深圳市星汉激光科技股份有限公司周少丰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市星汉激光科技股份有限公司申请的专利数值孔径测量方法、设备及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120927253B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511447297.0,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权数值孔径测量方法、设备及系统是由周少丰;吴迪;王书平设计研发完成,并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本数值孔径测量方法、设备及系统在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种数值孔径测量方法、设备及系统。该方法包括获取待测光学元件在多个位移点的位移量和功率值,多个位移点是待测光学元件基于预设步长移动至的位置点,预设步长小于或等于预设值,预设值是根据所述待测光学元件的光斑直径确定的,待测光学元件的移动方向与激光器发射光束的方向相平行,功率值为待测光学元件在对应位移点接收到的光束的功率值,根据多个位移点的位移量和功率值进行拟合计算,确定待测光学元件的目标数值孔径。本申请实施例提供的方法,通过基于小步长多步移动,采集多个位移点的功率值,进而通过拟合算法,准确计算待测光学元件的目标数值孔径,从而使得精度提升4倍,且支持实时中断。
本发明授权数值孔径测量方法、设备及系统在权利要求书中公布了:1.一种数值孔径测量方法,其特征在于,应用于第一设备,所述方法包括: 获取待测光学元件在至少两个位移点的位移量和功率值;至少两个所述位移点是待测光学元件基于预设步长移动至的位置点;所述预设步长小于或等于预设值;所述预设值是根据所述待测光学元件的光斑直径确定的;所述待测光学元件的移动方向与激光器发射光束的方向相平行;所述功率值为所述待测光学元件在对应位移点接收到的光束的功率值; 根据至少两个所述位移点的位移量和功率值进行拟合计算,确定所述待测光学元件的目标数值孔径; 所述根据至少两个所述位移点的位移量和功率值进行拟合计算,确定所述待测光学元件的目标数值孔径,包括: 从至少两个所述位移点中确定与95%功率值对应的第一邻近点和第二邻近点; 对所述第一邻近点和所述第二邻近点进行线性插值,确定所述95%功率值对应的位移量和数值孔径; 根据至少两个所述位移点的位移量确定至少两个所述位移点分别对应的数值孔径; 对至少两个所述位移点分别对应的数值孔径和所述95%功率值对应的数值孔径进行拟合计算,获得所述待测光学元件的目标数值孔径。
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