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龙图腾网获悉华芯半导体科技有限公司申请的专利一种VCSEL芯片清洗装置及清洗工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120921268B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511449764.3，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权一种VCSEL芯片清洗装置及清洗工艺是由梁高明;李往林;陈芸;俞娟;田正如;汤秀娟;尧舜;韩浩设计研发完成，并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种VCSEL芯片清洗装置及清洗工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种VCSEL芯片清洗装置及清洗工艺，涉及芯片清洗技术领域，包括机体，所述机体内设置有若干个清洗组件，所述清洗组件沿着机体的侧边等距布置，所述清洗组件由放置槽和移动体组成，所述放置槽位于机体靠近底部的一侧，所述移动体位于机体靠近顶部的一侧，所述移动体与机体滑动连接，所述移动体与放置槽转动连接；研磨盘在绕八字转动又绕着移动体的轴线进行公转运动的过程中，控制器控制转动体内的微型电机启动，微型电机的驱动轴随即带动研磨盘转动，研磨盘随即产生自转，使得研磨盘在自转与公转相结合的状态下进行绕八字运动，对晶圆表面进行研磨处理。

本发明授权一种VCSEL芯片清洗装置及清洗工艺在权利要求书中公布了：1.一种VCSEL芯片清洗装置，其特征在于：包括机体1，所述机体1内设置有若干个清洗组件2，所述清洗组件2沿着机体1的侧边等距布置，所述清洗组件2由放置槽21和移动体22组成，所述放置槽21位于机体1靠近底部的一侧，所述移动体22位于机体1靠近顶部的一侧，所述移动体22与机体1滑动连接，所述移动体22与放置槽21转动连接；所述放置槽21与机体1转动连接，所述放置槽21内用于放置晶圆，所述机体1内设置有水泵，所述水泵通过管道连通放置槽21，所述水泵将清洗液通过管道输送至放置槽21； 所述移动体22靠近放置槽21的一侧设置有第一滑动槽23和第二滑动槽24，所述第一滑动槽23和第二滑动槽24呈8字形，所述第一滑动槽23和第二滑动槽24内均设置有滑动组25，所述滑动组25由铰接体251和转动体252组成，所述铰接体251远离转动体252的一侧设置有滑动轮253； 所述转动体252的底部设置有研磨盘26，所述转动体252内设置有微型电机，所述微型电机的驱动轴连接研磨盘26，所述研磨盘26与转动体252转动连接； 所述研磨盘26的底部设置有若干个研磨条27，相邻两个所述研磨条27之间设置有输出槽28，所述研磨盘26内设置有输送管29，所述输出槽28与输送管29连通，所述输送管29远离输出槽28的一侧设置有若干个螺旋管30，所述输送管29的外部设置有过滤盘31，所述螺旋管30一端连通输送管29，所述螺旋管30的另一端连通过滤盘31。

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