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龙图腾网获悉西安稳能微电子科技有限公司申请的专利一种温湿度控制分流装置及涂胶显影机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120909080B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511455584.6，技术领域涉及：G03F7/30；该发明授权一种温湿度控制分流装置及涂胶显影机是由卢旭朝设计研发完成，并于2025-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种温湿度控制分流装置及涂胶显影机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种温湿度控制分流装置及涂胶显影机，涉及晶圆加工技术领域，本发明通过将主管道与THC设备的一个出风口连接，使得供入分流盒内的气体温度、湿度相同，而借助四个均匀分布的分流管道分流，以及相同长度、规格管路的输送，将同源的恒温、恒湿气体输送至四个腔体内，实现对四个腔体内气流供给温度、湿度的同步控制，有利于降低恒温、恒湿气体在输送过程中受到的干扰，可以有效提升晶圆涂胶操作过程中温湿度的精度控制，有效地保证了设备工作环境的稳定性，适用于对环境要求更高的精密设备。

本发明授权一种温湿度控制分流装置及涂胶显影机在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影机，包括机台1，其特征在于：所述机台1上分别设置有涂胶区101和显影区102，所述涂胶区101内安装有四个涂胶装置，所述显影区102内安装有多个显影装置，所述机台1的顶部安装有位于众多涂胶装置和显影装置之间的机械手103，所述涂胶装置包括腔体2，且腔体2内转动有转台201，所述机台1内固定有第一伺服电机202，且第一伺服电机202的驱动轴与转台201传动连接，所述转台201的顶部开设有众多均匀分布的第一吸孔203，所述机台1的顶部固定有位于腔体2外侧的支架204，且支架204上固定有竖直设置的第一电推杆205，所述第一电推杆205的伸缩端上固定有喷头206； 所述支架204上固定有延伸至腔体2顶部的连接臂3，且连接臂3上安装有与腔体2适配的盖板301，所述盖板301上开设有与喷头206适配的通孔，所述支架204的底部转动连接在机台1的顶部，所述机台1内固定有第二伺服电机302，且第二伺服电机302的驱动轴与支架204固定连接，所述连接臂3上滑动插接有竖直设置的导柱304，且导柱304的底端与盖板301固定连接，所述导柱304的外侧活动套设有弹性支撑在连接臂3顶部和导柱304顶端之间的第一弹簧305，所述第一电推杆205的伸缩端上固定有压块306； 所述机台1内固定有竖直设置的第二电推杆4，且第二电推杆4的伸缩端活动贯穿至转台201内，所述第二电推杆4的伸缩端上安装有活动设置在转台201内侧的托台401，且托台401的顶部开设有众多均匀分布的第二吸孔402； 所述机台1上安装有分流装置，且分流装置包括分流盒6，所述分流盒6的一侧开设有主管道601，所述分流盒6的另一侧开设有四个均匀分布的分流管道602，四个所述分流管道602分别与四个涂胶装置连接，且连接管路长度相等； 所述分流装置内主管道601的流通量设置为四个分流管道602内流通量的总和，所述分流盒6内固定有十字板7，所述分流盒6内通过十字板7分割成四个等尺寸的独立腔，四个所述独立腔分别与四个分流管道602一一对应，每个所述独立腔内均固定有与对应分流管道602连接的接引斗701，所述接引斗701设置为漏斗形结构； 所述分流装置还包括与四个分流管道602一一对应的管路组件，所述管路组件内收卷有第二软管804，不同的所述管路组件连接不同的涂胶装置，根据所述涂胶装置的位置拉扯出适量长度的第二软管804进行连接，在不改变气体流通路径总长度的情况下，对管路进行整理，所述第二软管804的端壁内设置有弹簧结构进行支撑，避免所述第二软管804收卷时受挤压塌陷。

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