香港科技大学(广州)姜红玉获国家专利权
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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利涂胶显影方法及其装置、电子设备、存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120871539B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511358829.3，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权涂胶显影方法及其装置、电子设备、存储介质是由姜红玉;王呢娜;王冠初;覃检兰;徐巍设计研发完成，并于2025-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本涂胶显影方法及其装置、电子设备、存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及微观尺度加工技术领域，尤其是涉及一种涂胶显影方法及其装置、电子设备、存储介质。本申请实施例的涂胶显影方法，需要先获取涂胶工艺输入参数和显影工艺输入参数；针对所述涂胶工艺输入参数和所述显影工艺输入参数分别进行合规性筛查，得到规范目标参数集；根据所述规范目标参数集，对预设的作业参数收集栏进行赋值；其中，所述作业参数收集栏包括涂胶作业参数栏和显影作业参数栏；基于赋值后的所述涂胶作业参数栏对目标样品执行涂胶操作；在执行涂胶操作之后，基于赋值后的所述显影作业参数栏对所述目标样品执行显影操作。如此一来，便能够提升涂胶操作、显影操作的简便性和准确性。
本发明授权涂胶显影方法及其装置、电子设备、存储介质在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影方法，其特征在于，包括： 获取涂胶工艺输入参数和显影工艺输入参数； 针对所述涂胶工艺输入参数和所述显影工艺输入参数分别进行合规性筛查，得到规范目标参数集；其中，所述规范目标参数集包括单映射目标参数和多映射目标参数； 根据所述规范目标参数集，对预设的作业参数收集栏进行赋值；其中，所述作业参数收集栏包括涂胶作业参数栏和显影作业参数栏； 基于赋值后的所述涂胶作业参数栏对目标样品执行涂胶操作； 在执行涂胶操作之后，基于赋值后的所述显影作业参数栏对所述目标样品执行显影操作； 其中，所述根据所述规范目标参数集，对预设的作业参数收集栏进行赋值，包括： 从所述作业参数收集栏中确定若干参数待填栏； 遍历若干所述参数待填栏，确定单一赋值类型的单一待填栏、和组合赋值类型的组合待填栏； 基于每一所述单映射目标参数，针对相匹配的所述单一待填栏进行赋值操作； 基于每一所述多映射目标参数，针对相匹配的所述组合待填栏进行赋值操作。
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