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深圳云潼微电子科技有限公司;重庆云潼科技有限公司杨昆霖获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳云潼微电子科技有限公司;重庆云潼科技有限公司申请的专利一种平面栅IGBT器件及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120812964B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511315100.8,技术领域涉及:H10D12/00;该发明授权一种平面栅IGBT器件及其制作方法是由杨昆霖;张伟;廖光朝设计研发完成,并于2025-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种平面栅IGBT器件及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种平面栅IGBT器件及其制作方法,该器件包括:衬底、掺杂区和栅极区,以及与掺杂区一一对应设置的P型浮空区;栅极区位于衬底之上;掺杂区位于衬底上,以及位于栅极区之下,且位于栅极区的两端;掺杂区包括:N+源区和P型体区,N+源区位于P型体区之内,N+源区的表面、P型体区的表面和衬底的表面位于同一水平面;P型浮空区位于衬底内,以及位于栅极区之下,并位于掺杂区之间,且位于对应的P型体区侧方的指定区域,P型浮空区靠近P型体区且与P型体区非接触。通过该器件的结构设置,降低平面栅IGBT器件的导通压降,提高平面栅IBGT器件的可靠性和实用性。

本发明授权一种平面栅IGBT器件及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种平面栅IGBT器件,其特征在于,包括:衬底、掺杂区和栅极区,以及与所述掺杂区一一对应设置的P型浮空区;所述衬底的材料为N型单晶硅材料; 所述栅极区位于所述衬底之上; 所述掺杂区位于所述衬底上,以及位于所述栅极区之下,且位于所述栅极区的两端;所述掺杂区包括:N+源区和P型体区,所述N+源区位于所述P型体区之内,所述N+源区的表面、所述P型体区的表面和所述衬底的表面位于同一水平面; 所述P型浮空区位于所述衬底内,以及位于所述栅极区之下,并位于所述掺杂区之间,且位于对应的所述P型体区侧方的指定区域,所述P型浮空区靠近所述P型体区且与所述P型体区非接触,以实现所述平面栅IGBT器件的低导通压降;所述指定区域的垂直区域为所述P型体区的表面与所述P型体区的底部至下方15um之间的区域;所述指定区域的水平区域为所述P型体区的相邻侧与厚氧层的指定侧之间的区域,其中,所述P型体区的相邻侧为所述P型体区相邻另一个所述掺杂区的所述P型体区的一侧,所述厚氧层的指定侧为所述厚氧层与所述P型体区最近的一侧; 所述栅极区包括:栅极氧化层、厚氧层和栅极多晶硅; 所述栅极氧化层和所述厚氧层位于所述衬底的表面上,所述栅极氧化层位于所述厚氧层的两侧; 所述栅极多晶硅位于所述栅极氧化层和所述厚氧层之上; 其中,所述栅极多晶硅呈具有凹槽的曲状,所述栅极多晶硅的凹槽覆盖所述厚氧层,以通过所述厚氧层能承受更高的电场,实现器件的高压应用。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳云潼微电子科技有限公司;重庆云潼科技有限公司,其通讯地址为:518122 广东省深圳市坪山区坑梓街道秀新社区秀盛一路7号C栋405;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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