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龙图腾网获悉合肥工业大学;蔚来汽车科技(安徽)有限公司申请的专利一种MEMS电容式加速度计及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120427938B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510463792.4，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种MEMS电容式加速度计及其制造方法是由许高斌;杨宇诚;刘袁涛;马渊明;陈兴;陈士荣;关存贺;尤锦涛设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS电容式加速度计及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS电容式加速度计，包括盖板、结构层和衬底，结构层包括固定边框和质量块，固定边框中部开设有加速度释放槽一，质量块可沿加速度释放槽一进行X轴和Y轴方向的位移，固定边框通过四边夹合封装设在盖板和衬底之间；质量块包括对应四角且沿左下角开始逆时针方法依次设置的检测单元一、检测单元二、检测单元三和检测单元四，检测单元一和检测单元二、检测单元三和检测单元四分别沿Y轴对称构成X轴加速度检测差分结构，检测单元一和检测单元四、检测单元二和检测单元三分别沿X轴对称构成Y轴加速度检测差分结构。本发明设计了差分式定齿偏置检测结构，在提升了线性度和灵敏度的同时，消除了非敏感轴造成的干扰减小了交叉耦合度。

本发明授权一种MEMS电容式加速度计及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS电容式加速度计，其特征在于：包括盖板1、结构层2和用于布线实现向所述结构层2导入电信号的衬底3，所述结构层2包括固定边框9和质量块4，所述固定边框9中部开设有加速度释放槽一，所述质量块4设在所述加速度释放槽一内部，且所述质量块4可沿所述加速度释放槽一进行X轴和Y轴方向的位移，所述固定边框9通过四边夹合封装设在所述盖板1和所述衬底3之间； 所述质量块4包括对应四角且沿左下角开始逆时针方法依次设置的检测单元一、检测单元二、检测单元三和检测单元四，所述检测单元一和所述检测单元二、检测单元三和所述检测单元四分别沿Y轴对称构成X轴加速度检测差分结构，所述检测单元一和所述检测单元四、所述检测单元二和检测单元三分别沿X轴对称构成Y轴加速度检测差分结构； 所述质量块4由内框体和外框体组成，所述外框体中部开设有加速度释放槽二，所述内框体对应四角处开设有四组加速度释放槽三，所述内框体的外侧对应四角处通过四组Y轴支撑梁8与所述加速度释放槽二连接，四组所述Y轴支撑梁8沿X轴和Y轴均对称且四组所述Y轴支撑梁8均与所述内框体平行于X轴的边连接，所述检测单元一包括第一Y轴加速度检测机构和第二Y轴加速度检测机构，所述第一Y轴加速度检测机构和所述第二Y轴加速度检测机构设在所述内框体靠近所述Y轴支撑梁8沿Y轴平行的边处，所述第一Y轴加速度检测机构设在所述加速度释放槽二内部，所述第二Y轴加速度检测机构设在所述加速度释放槽三内部，对应所述第一Y轴加速度检测机构和所述第二Y轴加速度检测机构位置处均设有Y轴梳齿电极6，所述Y轴梳齿电极6上下两侧通过键合分别与所述盖板1和所述衬底3连接； 所述外框体的外侧对应四角处通过四组X轴支撑梁7与所述加速度释放槽一连接，四组所述X轴支撑梁7沿X轴和Y轴均对称且四组所述X轴支撑梁7均与所述外框体平行于Y轴的边连接，所述检测单元一包括第一X轴检测机构，所述第一X轴检测机构设在所述外框体靠近所述X轴支撑梁7沿X轴平行的边处，所述第一X轴检测机构设在所述加速度释放槽二内部，所述第一X轴检测机构位置处设有X轴梳齿电极5，所述X轴梳齿电极5上下两侧通过键合分别与所述盖板1和所述衬底3连接； 所述检测单元一还包括第二X轴检测机构和第三X轴检测机构，所述第二X轴检测机构和所述第三X轴检测机构分别与内框体位于加速度释放槽三内部与X轴平行的两边连接，所述第二X轴检测机构和所述第三X轴检测机构沿X轴堆成，对应所述第二X轴检测机构和所述第三X轴检测机构位置处均设有X轴梳齿电极5； 所述第一Y轴加速度检测机构和所述第二Y轴加速度检测机构均包括多组等间距沿X轴平行设置的Y轴可动梳齿15，所述Y轴梳齿电极6对应Y轴可动梳齿15位置处设有多组等间距Y轴固定梳齿14，多组所述Y轴固定梳齿14与多组所述Y轴可动梳齿15交替间隔设置，所述第一X轴检测机构、所述第二X轴检测机构和所述第三X轴检测机构均包括多组等间距沿Y轴平行的X轴可动梳齿13，所述X轴梳齿电极对应X轴可动梳齿13位置处设有多组等间距X轴固定梳齿12，多组所述X轴固定梳齿12与多组所述X轴可动梳齿13交替间隔设置； 位于初始状态下，所述Y轴可动梳齿15与其相邻的Y轴固定梳齿14之间的距离不同，所述X轴可动梳齿13与其相邻的X轴固定梳齿12之间的距离不同。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥工业大学;蔚来汽车科技(安徽)有限公司，其通讯地址为：230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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