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龙图腾网获悉清华大学申请的专利一种双差分MEMS加速度计结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120352645B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510783959.5，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种双差分MEMS加速度计结构是由周斌;邢博文;魏琦;马健钧;李享;张嵘设计研发完成，并于2025-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双差分MEMS加速度计结构在说明书摘要公布了：本申请提供了一种双差分MEMS加速度计结构，包括衬底，悬设于衬底上的敏感结构层，以及位于衬底与敏感结构层之间，并为敏感结构层悬设于衬底上提供支撑的锚点层。敏感结构层包括两个相互对称的敏感结构单元，每个敏感结构单元包括敏感质量块，对称设置在敏感质量块的两侧一对支撑梁，以及对称设置在敏感质量块与支撑梁之间的多组梳齿电极。本申请可以实现MEMS加速度计的双载波加速度检测，并使MEMS加速度计结构的加速度检测在灵敏度、稳定性与频率特性之间达到性能平衡。

本发明授权一种双差分MEMS加速度计结构在权利要求书中公布了：1.一种双差分MEMS加速度计结构，其特征在于，包括衬底，悬设于所述衬底上的敏感结构层，以及位于所述衬底与所述敏感结构层之间的锚点层，所述敏感结构层包括一对沿第一方向相互对称的敏感结构单元，所述锚点层包括一对沿所述第一方向相互对称的锚点单元，所述敏感结构单元与所述锚点单元之间一一对应； 每个所述敏感结构单元至少包括敏感质量块，沿所述第一方向对称设置在所述敏感质量块的两侧，并与所述敏感质量块沿第二方向的两端弹性连接一对支撑梁，以及对称设置在所述敏感质量块与所述支撑梁之间的多组梳齿电极，每组所述梳齿电极包括交错且间隔设置的第一梳齿和第二梳齿； 每个所述锚点单元包括交错且间隔设置在所述敏感质量块沿所述第一方向的中心轴上的一对第一锚点、一对第二锚点，和一对第三锚点；所述第一锚点与所述支撑梁连接，每组所述梳齿电极的所述第一梳齿与所述敏感质量块一一对应连接，以使所述敏感质量块和所述第一梳齿能够通过所述第一锚点悬设于所述衬底上；每组所述梳齿电极的所述第二梳齿与所述第二锚点或所述第三锚点一一对应连接，以使所述第二梳齿能够通过所述第二锚点或所述第三锚点悬设于所述衬底上。

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