清华大学李钢江获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利晶圆良率预测方法和装置、电子设备与存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119989294B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411999225.2，技术领域涉及：G06F18/27；该发明授权晶圆良率预测方法和装置、电子设备与存储介质是由李钢江;张悠慧设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆良率预测方法和装置、电子设备与存储介质在说明书摘要公布了：本公开涉及晶圆良率预测方法和装置、电子设备与存储介质，所述方法包括：获取待预测的晶圆的缺陷密度数据和缺陷分布图，所述缺陷密度数据包括所述晶圆的多个区域的区域缺陷密度，所述缺陷分布图指示所述晶圆上缺陷的位置分布；利用第一预测模型根据所述缺陷密度数据，确定第一预测结果，所述第一预测结果指示所述第一预测模型预测的所述晶圆的良率；利用第二预测模型根据所述缺陷分布图，确定第二预测结果，所述第二预测结果指示所述第二预测模型预测的所述晶圆的良率；根据所述第一预测结果与所述第二预测结果，确定所述晶圆的目标良率。由此，能够提高晶圆良率预测的准确性和效率。
本发明授权晶圆良率预测方法和装置、电子设备与存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆良率预测方法，其特征在于，包括： 获取待预测的晶圆的缺陷密度数据和缺陷分布图，所述缺陷密度数据包括所述晶圆的多个区域的区域缺陷密度，所述缺陷分布图指示所述晶圆上缺陷的位置分布； 利用第一预测模型根据所述缺陷密度数据，确定第一预测结果，所述第一预测结果指示所述第一预测模型预测的所述晶圆的良率； 利用第二预测模型根据所述缺陷分布图，确定第二预测结果，所述第二预测结果指示所述第二预测模型预测的所述晶圆的良率； 根据所述第一预测结果与所述第二预测结果，确定所述晶圆的目标良率。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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