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上海交通大学唐旻获国家专利权

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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利一种用于层叠介质中金属互连电容参数提取的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119323158B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411573524.X,技术领域涉及:G06F30/23;该发明授权一种用于层叠介质中金属互连电容参数提取的方法是由唐旻;李杰设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于层叠介质中金属互连电容参数提取的方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种用于层叠介质中金属互连电容参数提取的方法,包括下列步骤:将整个求解区域分为金属互连区域和其上下的层叠介质区域;对金属互连区域进行空间离散,设置激励和部分边界条件,使用有限元法构建矩阵方程;对上、下层叠介质,分别通过解析解构造上、下交界面上的数值边界方程;将金属互连区域的矩阵方程与交界面上的数值边界方程组装求解,得到电势分布结果;根据电势分布结果,计算金属导体表面电荷分布,进而得到互连电容值。本发明具有计算效率高、计算资源消耗少的优点。

本发明授权一种用于层叠介质中金属互连电容参数提取的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于层叠介质中金属互连电容参数提取的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤: 将整个求解区域分为金属互连区域和其上下的层叠介质区域; 对金属互连区域进行空间离散,设置激励和部分边界条件,使用有限元法构建矩阵方程,使用有限元法对空间进行离散,在每个离散单元内,通过节点值和其对应形函数表示电势,然后代入静电场控制方程中进行伽辽金测试,得到单元刚度矩阵方程,再通过组装所有单元并对边界条件进行处理,得到整体刚度矩阵方程; 对上、下层叠介质,分别通过解析解构造上、下交界面上的数值边界方程,下层叠介质区域两侧边为绝缘边界,下方边界设置为0V边界条件,上方边界设置为电压边界条件,相邻两层介质之间满足电势和电通量连续条件;通过分离变量法,分别得到上层叠介质区域和下层叠介质区域内的傅里叶级数形式的电势和电通量解析解,作为数值边界方程; 将金属互连区域的矩阵方程与交界面上的数值边界方程组装求解,得到电势分布结果,以金属互连区域中通过有限元法建立的矩阵方程为基础,结合对上、下层叠介质,分别通过解析解构造上、下交界面上的数值边界方程步骤中得到的电通量解析表达式,更新得到的矩阵方程,对其求解获得电势结果; 根据电势分布结果,计算金属导体表面电荷分布,进而得到互连电容值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海交通大学,其通讯地址为:200240 上海市闵行区东川路800号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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