昆山一鼎工业科技有限公司门松明珠获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山一鼎工业科技有限公司申请的专利一种铂电镀溶液、其配制方法及其在晶圆电镀中的应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119082815B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411154636.1,技术领域涉及:C25D3/52;该发明授权一种铂电镀溶液、其配制方法及其在晶圆电镀中的应用是由门松明珠;周智翰;周爱和设计研发完成,并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铂电镀溶液、其配制方法及其在晶圆电镀中的应用在说明书摘要公布了:本发明属于电镀领域,特别涉及铂电镀溶液、其配制方法及其在晶圆电镀中的应用。铂电镀溶液包括:铂盐,以铂Ⅱ计0.02molL;铂盐为乙二胺氯化铂Ⅱ或乙二胺碘化铂Ⅱ;络合剂,0.16~0.46molL;络合物为两端具有氨基的线性分子或1,2‑二氨基环己烷;两端具有氨基的线性分子的两氨基之间的碳数n选自2、3、4;电解盐,0.13~0.53molL,电解盐包括羧酸铵盐或硫酸铵盐;pH调节剂调节铂电镀溶液pH至7;溶剂为超纯水。本发明形成的铂镀层具有优异形貌、分布均匀、高纯度和优异致密性,生产的晶圆电子产品具有优异耐腐蚀性、高精度导电性和高品质电子信号传输性能。
本发明授权一种铂电镀溶液、其配制方法及其在晶圆电镀中的应用在权利要求书中公布了:1.一种铂电镀溶液,其特征在于,包括如下浓度的组分: 二价铂盐:以二价铂计,0.02molL;所述二价铂盐为乙二胺氯化铂或乙二胺碘化铂中的至少一种; 络合剂:0.16~0.46molL;所述络合剂为两端具有氨基的线性分子或1,2-二氨基环己烷中的至少一种;所述两端具有氨基的线性分子包括:乙二胺类化合物、1,3-丙二胺类化合物、1,4-丁二胺类化合物或三缩四乙二胺;所述乙二胺类化合物、1,3-丙二胺类化合物或1,4-丁二胺类化合物包括对应的盐酸盐或硫酸盐; 电解盐:0.33molL,所述电解盐包括羧酸铵盐或硫酸铵盐中的至少一种; pH调节剂,调节铂电镀溶液pH至7; 溶剂:超纯水,余量。
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