洛阳晶联光电材料有限责任公司马超宁获国家专利权
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龙图腾网获悉洛阳晶联光电材料有限责任公司申请的专利一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118206360B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410328185.2,技术领域涉及:C04B35/01;该发明授权一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法是由马超宁;牛潇迪;黄誓成;侯远欣;孟红波;王淑娜设计研发完成,并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法,该旋转靶材包括氧化镍和掺杂氧化物,所述氧化镍的质量分数不小于95.0wt%,掺杂氧化物的总质量分数不高于7.5wt%,所述掺杂氧化物选自氧化锌、氧化锶、氧化锡中的至少两种,且选择对应氧化物的质量分数范围为:氧化锌0.1~1.0wt%、氧化锶0.1~1.5wt%、氧化锡0.1~5.0wt%。本发明的氧化镍旋转靶材制备时,以氧化镍粉体、掺杂氧化物粉体作为原料,经过造粒、冷等静压、低温常压分段烧结、随炉冷却步骤,即得到旋转靶材。本发明采用低温常压分段烧结,制得相对密度达到99.29%以上的高密度旋转靶材。本发明的氧化镍旋转靶材致密性好、成本低,可应用于钙钛矿太阳能电池片量产中。
本发明授权一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高密度氧化镍基旋转靶材,其特征在于,包括氧化镍和掺杂氧化物,所述掺杂氧化物的总质量分数不高于7.5wt%,所述掺杂氧化物选自氧化锌、氧化锶、氧化锡中的至少两种,且选择对应氧化物的质量分数范围为:氧化锌0.1~1.0wt%、氧化锶0.1~1.5wt%、氧化锡0.1~5.0wt%; 所述高密度氧化镍基旋转靶材的制备方法为:以氧化镍粉体、掺杂氧化物粉体作为原料,经过造粒、冷等静压、低温常压分段烧结、随炉冷却步骤,即得到旋转靶材; 其中,原料氧化镍粉体由微米粉体与纳米粉体组成,微米粉体与纳米粉体的质量比为87~93:13~7;微米粉体比表面积为1~2m2g,纳米粉体比表面积为12~18m2g; 低温常压分段烧结包括一段烧结和二段烧结,具体参数为: 一段烧结时的烧结温度为400~600℃,保温3~10h,烧结压力为0~100pa; 二段烧结时的烧结温度为1200~1300℃,时间为5~12h,二段烧结过程中全程通入氮氢混合气,烧结压力为100~500pa。
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