浙江奥首材料科技有限公司侯军获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江奥首材料科技有限公司申请的专利一种大硅片切割液、其制备方法和用途获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117925311B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-02发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311814268.4,技术领域涉及:C10M173/02;该发明授权一种大硅片切割液、其制备方法和用途是由侯军;褚雨露;李传友;吕婧设计研发完成,并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大硅片切割液、其制备方法和用途在说明书摘要公布了:本申请公开了一种大硅片切割液、其制备方法和用途;以质量份计,切割液包括如下组分:20‑40份的润湿剂,1‑10份的润滑剂,0.1‑2份的防腐剂,20‑40份的去离子水,5‑20份的有机溶剂;其中,润滑剂用于在所述硅片表面形成保护膜,防腐剂用于在所述金刚线表面形成吸附膜。本申请的切割液实现了细线径金刚线的切割,保护膜的存在减少了硅片和金刚线直接接触造成的脏污、线痕的问题,避免了金刚线的断线;吸附膜的存在还可以减缓金刚线材质的腐蚀速度,并进一步降低断线率。
本发明授权一种大硅片切割液、其制备方法和用途在权利要求书中公布了:1.一种大硅片切割液,应用于金刚线切割硅片,其特征在于,以质量份计,切割液包括如下组分:20-40份的润湿剂,1-10份的润滑剂,0.1-2份的防腐剂,20-40份的去离子水,5-20份的有机溶剂; 其中,所述润滑剂用于在所述硅片表面形成保护膜,所述防腐剂用于在所述金刚线表面形成吸附膜; 所述润滑剂选自硬脂酰胺丙基二甲胺、油酸酰胺、芥酸酰胺和硬脂酰胺中的至少一种; 所述防腐剂选自月桂酰基谷氨酸钠、月桂酰基甘氨酸钠、月桂酰基丙氨酸钠、月桂酰基肌氨酸钠、椰油酰基甘氨酸钠、椰油酰基谷氨酸钠和硬脂酰基谷氨酸钠中的至少一种; 所述润湿剂为脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚,化学式为ROCHCHOCOH,其中R选自C~C的烃基;m表示环氧乙烷基团的加合数,选自2~8的整数;n表示环氧丙烷基团的加和数,选自4-10的整数; 所述有机溶剂选自二乙二醇丁醚、丙二醇甲醚、乙二醇丙醚、乙二醇二甲醚、二异丙醚中的至少一种。
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